MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 71946
005 20231031083015.0
010 |a 3540211179 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\76686 
090 |a 71946 
100 |a 20041228d2006 k y0engy50 ba 
101 0 |a eng 
102 |a US 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a MEMS: A Practical Guide to Design, Analiysis, and Applications  |f J. G. Korvink, O. Paul 
210 |a New York  |c Springer  |d 2005 
215 |a 965 p.  |c il. 
320 |a Index: p. 945-965. 
610 1 |a электротехника 
610 1 |a электрические машины 
610 1 |a электрические системы 
610 1 |a микроэлектромашины 
610 1 |a английский язык 
675 |a 621.313-181.48  |v 3 
700 1 |a Korvink  |b J. G.  |g Jan G. 
701 1 |a Paul  |b O.  |g Oliver 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20041228  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20100914  |g PSBO 
942 |c BK 
959 |a 7/20060208  |d 1  |e 249  |f НФ:1