|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
71688 |
| 005 |
20231101212610.0 |
| 010 |
|
|
|a 5902740010
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\76416
|
| 090 |
|
|
|a 71688
|
| 100 |
|
|
|a 20041223d2004 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 101zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники)
|e материалы X Международной научно-технической конференции, Москва, 9-11 сентября 2004 г.
|f Центральный научно-исследовательский технологический институт "Техномаш"
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Изд-во ЦНИТИ Техномаш
|d 2004
|
| 215 |
|
|
|a 404 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце статей
|
| 423 |
|
|
|t Тонкие пленки в электронике
|o материалы XVI Международного симпозиума, Москва, 9-11 сентября 2004 г.
|
| 610 |
1 |
|
|a твердотельная электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a функциональная электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a микрофотоника
|
| 610 |
1 |
|
|a наноматериалы
|
| 610 |
1 |
|
|a нанотехнологии
|
| 610 |
1 |
|
|a фотонные кристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a приборы
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a технология
|
| 610 |
1 |
|
|a оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a электронная техника
|
| 610 |
1 |
|
|a материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a физико-технические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a моделирование
|
| 610 |
1 |
|
|a информационное обеспечение
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a конференции
|
| 610 |
1 |
|
|a симпозиумы
|
| 610 |
1 |
|
|a Москва
|
| 675 |
|
|
|a 621.382(063)
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 621.383(063)
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.772(063)
|v 3
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Центральный научно-исследовательский технологический институт "Техномаш"
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\6010
|9 24194
|
| 712 |
1 |
2 |
|a Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники)
|b международная научно-техническая конференция
|c материалы
|d 10
|e Москва
|f 2004
|
| 712 |
1 |
2 |
|a Тонкие пленки в электронике
|b международный симпозиум
|c материалы
|d 16
|e Москва
|f 2004
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20041223
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20050115
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
