|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
71554 |
| 005 |
20231031082738.0 |
| 010 |
|
|
|a 5020016837
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\76256
|
| 090 |
|
|
|a 71554
|
| 100 |
|
|
|a 20041220d2000 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a CVD-метод. Химическое парофазное осаждение
|f В. Г. Сыркин
|g Российская академия наук; Институт металлоорганической химии им. Г. А. Разуваева
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Наука
|d 2000
|
| 215 |
|
|
|a 496 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Литература: с. 467-491.
|
| 606 |
1 |
|
|a Металлопокрытия химические
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\42560
|
| 610 |
1 |
|
|a парофазное химическое осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a CVD-метод
|
| 610 |
1 |
|
|a металлические материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a конструирование
|
| 610 |
1 |
|
|a металлизация
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a металлические пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a нитевидные кристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a вискеры
|
| 610 |
1 |
|
|a наночастицы
|
| 610 |
1 |
|
|a микрочастицы
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a летучие металлсодержащие соединения
|
| 610 |
1 |
|
|a неразрушающий контроль
|
| 675 |
|
|
|a 621.793.3
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Сыркин
|b В. Г.
|g Виталий Григорьевич
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Российская академия наук (РАН)
|b Институт металлоорганической химии им. Г. А. Разуваева (ИМХ)
|c (Нижний Новгород)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\5962
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20041220
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20131205
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
