|
|
|
|
| LEADER |
00000nam2a2200000 4500 |
| 001 |
68795 |
| 005 |
20231101212415.0 |
| 010 |
|
|
|a 5864330574
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\73258
|
| 090 |
|
|
|a 68795
|
| 100 |
|
|
|a 20041011d1996 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
0 |
|
|a Т. 2
|
| 210 |
|
|
|d 1996
|
| 215 |
|
|
|a 416 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 404-415.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\39700
|t Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники
|o учебник для вузов
|o в 2 т.
|f Н. В. Василенко, Е. Н. Ивашов, Л. К. Ковалев и др.
|g под ред. Л. К. Ковалева, Н. В. Василенко
|v Т. 2
|d 1995-1996
|
| 606 |
1 |
|
|a Тонкопленочная технология
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\60919
|9 78140
|
| 606 |
1 |
|
|a Вакуумное оборудование
|x Эксплуатация
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\1964
|9 30609
|
| 610 |
1 |
|
|a электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a электронная техника
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a механические системы
|
| 610 |
1 |
|
|a параметры
|
| 610 |
1 |
|
|a расчет
|
| 610 |
1 |
|
|a учебники
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.772(075.8)
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 621.52(075.8)
|v 3
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20041011
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130603
|g PSBO
|
| 900 |
|
|
|a Электронная технология
|
| 900 |
|
|
|a Электронная микропроцессорная и преобразовательная техника
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 951 |
|
|
|a 550000
|b 200500
|
