Т. 1
| Parent link: | Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники: учебник для вузов/ Н. В. Василенко, Е. Н. Ивашов, Л. К. Ковалев и др.; под ред. Л. К. Ковалева, Н. В. Василенко. Т. 1.— , 1995-1996 |
|---|---|
| Hizkuntza: | errusiera |
| Argitaratua: |
1995
|
| Gaiak: | |
| Formatua: | Liburua |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=68793 |
| Deskribapen fisikoa: | 256 с. ил. |
|---|---|
| ISBN: | 5864330574 |