Отечественные фторполимерные изделия для производства микроэлектроники (обзор); Микроэлектроника; Т. 54, № 6

Dades bibliogràfiques
Parent link:	Микроэлектроника.— .— Москва: Академиздатцентр "Наука" РАН Т. 54, № 6.— 2025.— С. 487-515
Altres autors:	Больбасов Е. Н. Евгений Николаевич, Бузник В. М. Вячеслав Михайлович, Варламов Д. А. Денис Александрович, Воробьев А. О. Александр Олегович, Дубиненко Г. Е. Глеб Евгеньевич, Еремчук А. И. Анатолий Иванович, Трусова М. Е. Марина Евгеньевна
Sumari:	Заглавие с экрана Особенностью микроэлектронного производства являются высокие требования к: чистоте сырья и конечных продуктов, технологическим процессам, оборудованию и помещениям. Зачастую это достигается применением агрессивных реагентов, что требует оборудования и технологической оснастки из химически стойких материалов. Таковыми являются фторполимеры (ФП), изделия из которых используются в технологических процессах микроэлектронного производства. Длительное время требуемые ФП-изделия поставлялись из-за рубежа, но сейчас они под санкциями и возникла настоятельная потребность организации их производства в РФ. Естественно, необходим анализ отечественной фторполимерной науки и производства ФП-изделий для устранения возникших проблем. Успех мероприятия во многом зависит от кооперации, взаимопонимания специалистов по микроэлектронике и фторполимерным материалам, на которых и ориентирован обзор. Особое внимание уделено изделиям для фильтрации агрессивных реагентов, очистки воды и воздуха, отбора и хранения проб, проведения реакций с особо чистыми химическими веществами Текстовый файл
Idioma:	rus
Publicat:	2025
Matèries:	электронный ресурс труды учёных ТПУ фторполимеры микроэлектроника электроформование аддитивные технологии химическая стойкость
Accés en línia:	https://elibrary.ru/item.asp?id=85743390 Статья на английском языке
Format:	Electrònic Capítol de llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=686481