Отечественные фторполимерные изделия для производства микроэлектроники (обзор); Микроэлектроника; Т. 54, № 6
| Parent link: | Микроэлектроника.— .— Москва: Академиздатцентр "Наука" РАН Т. 54, № 6.— 2025.— С. 487-515 |
|---|---|
| Andre forfattere: | , , , , , , |
| Summary: | Заглавие с экрана Особенностью микроэлектронного производства являются высокие требования к: чистоте сырья и конечных продуктов, технологическим процессам, оборудованию и помещениям. Зачастую это достигается применением агрессивных реагентов, что требует оборудования и технологической оснастки из химически стойких материалов. Таковыми являются фторполимеры (ФП), изделия из которых используются в технологических процессах микроэлектронного производства. Длительное время требуемые ФП-изделия поставлялись из-за рубежа, но сейчас они под санкциями и возникла настоятельная потребность организации их производства в РФ. Естественно, необходим анализ отечественной фторполимерной науки и производства ФП-изделий для устранения возникших проблем. Успех мероприятия во многом зависит от кооперации, взаимопонимания специалистов по микроэлектронике и фторполимерным материалам, на которых и ориентирован обзор. Особое внимание уделено изделиям для фильтрации агрессивных реагентов, очистки воды и воздуха, отбора и хранения проб, проведения реакций с особо чистыми химическими веществами Текстовый файл |
| Sprog: | russisk |
| Udgivet: |
2025
|
| Fag: | |
| Online adgang: | https://elibrary.ru/item.asp?id=85743390 Статья на английском языке |
| Format: | Electronisk Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=686481 |