Отечественные фторполимерные изделия для производства микроэлектроники (обзор); Микроэлектроника; Т. 54, № 6
| Parent link: | Микроэлектроника.— .— Москва: Академиздатцентр "Наука" РАН Т. 54, № 6.— 2025.— С. 487-515 |
|---|---|
| Kolejni autorzy: | , , , , , , |
| Streszczenie: | Заглавие с экрана Особенностью микроэлектронного производства являются высокие требования к: чистоте сырья и конечных продуктов, технологическим процессам, оборудованию и помещениям. Зачастую это достигается применением агрессивных реагентов, что требует оборудования и технологической оснастки из химически стойких материалов. Таковыми являются фторполимеры (ФП), изделия из которых используются в технологических процессах микроэлектронного производства. Длительное время требуемые ФП-изделия поставлялись из-за рубежа, но сейчас они под санкциями и возникла настоятельная потребность организации их производства в РФ. Естественно, необходим анализ отечественной фторполимерной науки и производства ФП-изделий для устранения возникших проблем. Успех мероприятия во многом зависит от кооперации, взаимопонимания специалистов по микроэлектронике и фторполимерным материалам, на которых и ориентирован обзор. Особое внимание уделено изделиям для фильтрации агрессивных реагентов, очистки воды и воздуха, отбора и хранения проб, проведения реакций с особо чистыми химическими веществами Текстовый файл |
| Język: | rosyjski |
| Wydane: |
2025
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://elibrary.ru/item.asp?id=85743390 Статья на английском языке |
| Format: | Elektroniczne Rozdział |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=686481 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 686481 | ||
| 005 | 20260916152225.0 | ||
| 090 | |a 686481 | ||
| 100 | |a 20260512d2026 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i |b e | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 183 | 0 | |a cr |2 RDAcarrier | |
| 200 | 1 | |a Отечественные фторполимерные изделия для производства микроэлектроники (обзор) |d Domestic fluoropolymer products for microelectronic manufacturing: a review |f Больбасов Е. Н., Бузник В. М., Варламов Д. А. [и др.] |z eng | |
| 283 | |a online_resource |2 RDAcarrier | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a Список литературы: 108 назв | ||
| 330 | |a Особенностью микроэлектронного производства являются высокие требования к: чистоте сырья и конечных продуктов, технологическим процессам, оборудованию и помещениям. Зачастую это достигается применением агрессивных реагентов, что требует оборудования и технологической оснастки из химически стойких материалов. Таковыми являются фторполимеры (ФП), изделия из которых используются в технологических процессах микроэлектронного производства. Длительное время требуемые ФП-изделия поставлялись из-за рубежа, но сейчас они под санкциями и возникла настоятельная потребность организации их производства в РФ. Естественно, необходим анализ отечественной фторполимерной науки и производства ФП-изделий для устранения возникших проблем. Успех мероприятия во многом зависит от кооперации, взаимопонимания специалистов по микроэлектронике и фторполимерным материалам, на которых и ориентирован обзор. Особое внимание уделено изделиям для фильтрации агрессивных реагентов, очистки воды и воздуха, отбора и хранения проб, проведения реакций с особо чистыми химическими веществами | ||
| 336 | |a Текстовый файл | ||
| 461 | 1 | |t Микроэлектроника |c Москва |n Академиздатцентр "Наука" РАН | |
| 463 | 1 | |t Т. 54, № 6 |v С. 487-515 |d 2025 | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a фторполимеры | |
| 610 | 1 | |a микроэлектроника | |
| 610 | 1 | |a электроформование | |
| 610 | 1 | |a аддитивные технологии | |
| 610 | 1 | |a химическая стойкость | |
| 701 | 1 | |a Больбасов |b Е. Н. |c физик |c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат технических наук |f 1981- |g Евгений Николаевич |9 14454 | |
| 701 | 1 | |a Бузник |b В. М. |c химик-технолог |c профессор Томского политехнического университета, доктор наук |f 1945- |g Вячеслав Михайлович |y Томск |9 21492 | |
| 701 | 1 | |a Варламов |b Д. А. |g Денис Александрович | |
| 701 | 1 | |a Воробьев |b А. О. |c специалист в области материаловедения |c инженер Томского политехнического университета |f 1995- |g Александр Олегович |9 22644 | |
| 701 | 1 | |a Дубиненко |b Г. Е. |c специалист в области материаловедения |c инженер Томского политехнического университета |f 1992- |g Глеб Евгеньевич |9 21520 | |
| 701 | 1 | |a Еремчук |b А. И. |g Анатолий Иванович | |
| 701 | 1 | |a Трусова |b М. Е. |c химик-органик |c доцент Томского политехнического университета, кандидат химических наук |f 1982- |g Марина Евгеньевна |9 12930 | |
| 801 | 0 | |a RU |b 63413507 |c 20260512 |g RCR | |
| 850 | |a 63413507 | ||
| 856 | 4 | 0 | |u https://elibrary.ru/item.asp?id=85743390 |z https://elibrary.ru/item.asp?id=85743390 |
| 856 | 4 | 0 | |u https://doi.org/10.1134/S106373972560075X |z Статья на английском языке |
| 942 | |c CF | ||