Формирование глубоколегированных слоев при импульсно-периодической имплантации алюминия пучками ионов титана высокой плотности мощности; Известия вузов. Физика; Т. 68, № 9

書誌詳細
Parent link:	Известия вузов. Физика=Russian Physics Journal.— .— Томск: Изд-во ТГУ.— 0021-3411 Т. 68, № 9.— 2025.— С. 108-111
その他の著者:	Иванова А. И. Анна Ивановна, Корнева О. С. Ольга Сергеевна, Дектярев С. В. Сергей Валентинович, Гурулев А. В. Александр Валерьевич
要約:	Заглавие с экрана Представлены результаты исследований формирования глубоколегированных слоев при импульсно-периодической имплантации алюминия пучками ионов титана высокой плотности мощности. Приведены результаты исследования закономерностей накопления примеси в условиях изменения тепловых полей приповерхностного слоя за счет увеличения объема образца и применения дополнительного теплоотвода. Показано, что синергия высокоинтенсивной имплантации и энергетического воздействия пучка ионов титана высокой плотности мощности 70 кВт/см2 на поверхность алюминия обеспечивает формирование ионно-легированного слоя глубиной около 5 мкм, что на два порядка больше длины проективного пробега. Исследованы распределение температурных полей в приповерхностном слое при импульсно-периодической имплантации алюминия пучками ионов титана и фазовый состав This paper presents the results of studying the formation of deeply doped layers during repetitively-pulsed implantation of aluminum by high-power density titanium ion beams. The regularities of dopant accumulation under conditions of changing thermal fields of the near-surface layer due to an increase in the sample volume and the use of additional heat transfer are studied. It is shown that the synergy of high-intensity implantation and the energy impact of the titanium ion beam with a high-power density of 70 kW/cm2 on the aluminum surface ensures the formation of an ion-doped layer with a depth of about 5 μm, which is two orders of magnitude greater than the projective path length. The distribution of temperature fields in the near-surface layer during repetitively-pulsed implantation of aluminum by titanium ion beams and the phase composition are studied Текстовый файл AM_Agreement
言語:	ロシア語
出版事項:	2025
主題:	синергия имплантация ионов энергетическое воздействие титан алюминий электронный ресурс труды учёных ТПУ
オンライン･アクセス:	https://elibrary.ru/item.asp?id=83022760
フォーマット:	電子媒体図書の章
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=685626