APA引文

Иванова А. И. Анна Ивановна, Корнева О. С. Ольга Сергеевна, Дектярев С. В. Сергей Валентинович, & Гурулев А. В. Александр Валерьевич. (2025). Формирование глубоколегированных слоев при импульсно-периодической имплантации алюминия пучками ионов титана высокой плотности мощности; Известия вузов. Физика; Т. 68, № 9. 2025.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Иванова А. И. Анна Ивановна, Корнева О. С. Ольга Сергеевна, Дектярев С. В. Сергей Валентинович, and Гурулев А. В. Александр Валерьевич. Формирование глубоколегированных слоев при импульсно-периодической имплантации алюминия пучками ионов титана высокой плотности мощности; Известия вузов. Физика; Т. 68, № 9. 2025, 2025.

MLA引文

Иванова А. И. Анна Ивановна, et al. Формирование глубоколегированных слоев при импульсно-периодической имплантации алюминия пучками ионов титана высокой плотности мощности; Известия вузов. Физика; Т. 68, № 9. 2025, 2025.