|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
683330 |
| 005 |
20251121163215.0 |
| 090 |
|
|
|a 683330
|
| 100 |
|
|
|a 20251121d1977 k||y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 000yy
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|b e
|
| 182 |
|
0 |
|a n
|
| 183 |
|
0 |
|a nc
|2 RDAcarrier
|
| 200 |
1 |
|
|a Полупроводниковые пленки для микроэлектроники
|f отв. ред. Л. Н. Александров, В. И. Петросян
|g Институт физики полупроводников СО АН СССР
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|b визуальный
|c непосредственный
|
| 210 |
|
|
|a Новосибирск
|c Наука
|d 1977
|
| 215 |
|
|
|a 248 с.
|c ил.
|
| 283 |
|
|
|a volume
|2 RDAcarrier
|
| 320 |
|
|
|a Литература в конце глав
|
| 606 |
|
|
|a Полупроводниковые пленки
|x Получение
|x (электроника)
|9 83926
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксиальные пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a арсенид галлия
|
| 610 |
1 |
|
|a легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a твердые растворы
|
| 610 |
1 |
|
|a полуметаллы
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.772
|v 4
|
| 702 |
|
1 |
|4 340
|a Александров
|b Л. Н.
|
| 702 |
|
1 |
|4 340
|a Петросян
|b В. И.
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук СССР
|b Сибирское отделение
|b Институт физики полупроводников
|c (Новосибирск)
|4 570
|9 25080
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b 63413507
|c 20251121
|
| 830 |
|
|
|a Ретро2025Каталогизация Мотырева
|
| 850 |
|
|
|a 63413507
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
