Сравнительный анализ особенностей формирования состава плазмы при магнетронном распылении карбида кремния с использованием охлаждаемой и горячей мишеней; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Сравнительный анализ особенностей формирования состава плазмы при магнетронном распылении карбида кремния с использованием охлаждаемой и горячей мишеней; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

書誌詳細
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XХII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2025/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; под ред. И. А. Курзиной [и др.].— .— Томск: Изд-во ТПУ Т. 1 : Физика.— 2025.— С. 263-265
第一著者:	Фишер М. Э.
その他の著者:	Грудинин В. А. Владислав Алексеевич (научный руководитель)
要約:	Заглавие с экрана In this work the influence of the target type on the peculiarities of plasma composition formation during magnetron sputtering of silicon carbide is considered. The plasma composition was determined by optical emission spectroscopy. It is revealed that at magnetron sputtering of hot target the intensity of plasma components increases Текстовый файл
言語:	ロシア語
出版事項:	2025
主題:	труды учёных ТПУ электронный ресурс silicon carbide magnetron sputtering OES-analysis
オンライン･アクセス:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/132865
フォーマット:	電子媒体図書の章
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=682463

類似資料

Study of argon ions density and electron temperature and density in magnetron plasma by optical emission spectroscopy and collisional-radiative model; Resource-Efficient Technologies; Vol. 3, iss. 2
出版事項: (2017)

In Vitro Activity Assays of Sputtered HAp Coatings with SiC Addition in Various Simulated Biological Fluids; Coatings; Vol. 9, iss. 6
出版事項: (2019)

Effects of annealing in vacuum on the microstructure of silicon-containing calcium phosphate films deposited on a ZrNb alloy by radio-frequency magnetron sputtering; Vacuum; Vol. 212
出版事項: (2023)

Ab initio calculations and a scratch test study of RF-magnetron sputter deposited hydroxyapatite and silicon-containing hydroxyapatite coatings; Surfaces and Interfaces; Vol. 21
出版事項: (2020)

Влияние плотности мощности на формирование покрытий карбида кремния при магнетронном распылении горячей мишени; Современные проблемы машиностроения
著者:: Фишер М. Э.
出版事項: (2025)

Titanium Carbide Coating for Hafnium Hydride Neutron Control Rods: In Situ X-ray Diffraction Study; Coatings; Vol. 13, iss. 12
出版事項: (2023)

Preparation of a silicate-containing hydroxyapatite-based coating by magnetron sputtering: structure and osteoblast-like MG63 cells in vitro study: Structure and osteoblast-like MG63 cells in vitro study; RSC Advances; № 28
出版事項: (2013)

Phase and elemental composition of silicon-containing hydroxyapatite-based coatings fabricated by RF-magnetron sputtering for medical implants; Inorganic Materials: Applied Research; Vol. 4, iss. 3
出版事項: (2013)

Методика послойного химического анализа мультислойных покрытий Zr/Nb методами оптической эмиссионной спектроскопии тлеющего разряда; Взаимодействие излучений с твердым телом (ВИТТ-2021)
著者:: Ломыгин А. Д. Антон Дмитриевич
出版事項: (2021)

Synthesis and Properties of Silicon-Carbide-Modified Porous Glass Composite; Glass and Ceramics; Vol. 77, iss. 3-4
著者:: Semenova V. I. Valeriya Igorevna
出版事項: (2020)

The role of thermal processes and target evaporation in formation of self-sputtering mode for copper magnetron sputtering; Vacuum; Vol. 152
出版事項: (2018)

On the Possibility of Synthesis of Silicon Carbide Using an Indirect-Action Plasma Gun; Journal of Engineering Physics and Thermophysics; Vol. 97, iss. 2
出版事項: (2024)

In-Situ XRD Study at Linear Heating in Vacuum of Nanoscale Multilayer Zr/Nb Coatings; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
著者:: Lomygin A. D. Anton Dmitrievich
出版事項: (2024)

Advanced Arc Plasma Synthesis of Biomorphic Silicon Carbide Using Charcoal and Silicon Dioxide in Air; Waste and Biomass Valorization; Vol. 13, iss. 1
出版事項: (2021)

Modeling and Experimental Study of Hysteresis during the Reactive Sputter Deposition of Titanium Oxides and Nitrides Using a Pulsed DC Magnetron; Materials Science Forum; Vol. 1065
出版事項: (2022)

Robocasting of reaction bonded silicon carbide structures; Journal of the European Ceramic Society; Vol. 39, iss. 15
出版事項: (2019)

Tribological properties of silicon carbide ceramic surfaces modified by polishing, grinding and laser radiation; Discover Applied Sciences; Vol. 7, iss. 1
出版事項: (2025)

Interaction of Al2O3 thin films deposited on nanocrystalline titanium with hydrogen; Thin Solid Films; Vol. 591, pt. В : Selected papers from 16th International Conference on Thin Films, October 13-16, 2014, Dubrovnik, Croatia
出版事項: (2014)

Agricultural waste derived silicon carbide composite nanopowders as efficient coelectrocatalysts for water splitting; Journal of Cleaner Production; Vol. 442
出版事項: (2024)

Sintered silicon carbide composites deposited on zirconium alloy substrates in air and Ar atmosphere – Part II: Evaluation on micro-indentation properties; Materials Letters; Vol. 308, Pt. B
出版事項: (2022)

Porous SiC ceramic obtained by spark plasma sintering of preceramic paper: Microstructure, mechanical properties and gas permeability; Ceramics International; Vol. 50, iss. 8
出版事項: (2024)

Структура и свойства композитных покрытий на основе оксинитрида титана и фосфата кальция; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
著者:: Джамбулова Т. Д.
出版事項: (2025)

Biocompatible nanostructured coatings based on calcium phosphates prepared by means of rf-magnetron sputtering deposition; The 7th International Forum on Strategic Technology (IFOST-2012), September 18-21, 2012, Tomsk
出版事項: (2012)

Structural Mechanics Calculations of SiC/Mo-Re Composites with Improved High Temperature Creep Properties; Materials; Vol. 18, iss. 15
出版事項: (2025)

Efficient Nonorthogonal Multiple Access: Cooperative Use of Distributed Space-Time Block Coding; IEEE Vehicular Technology Magazine; Vol. 13, iss. 4
出版事項: (2018)

Структурные, механические и адгезионные исследования покрытий на основе гидроксиапатита с легирующими элементами; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
著者:: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
出版事項: (2025)

Deposition of Superconducting Nb3Sn Coatings Using Multiple Magnetron Sputtering Techniques; Metals; Vol. 13 - iss. 10
出版事項: (2023)

A Strategy for Alleviating Micro Arcing during HiPIMS Deposition of DLC Coatings; Materials; Vol. 13, iss. 5
出版事項: (2020)

Synthesis of silicon carbide using an AC atmospheric-pressure arc reactor; Journal of Alloys and Compounds; Vol. 1003
出版事項: (2024)

Microstructural Analysis of Novel Preceramic Paper-Derived SiCf/SiC Composites; Materials; Vol. 14, iss. 22
出版事項: (2021)

Microstructure characterization and corrosion behaviour of a nanohydroxyapatite coating deposited on AZ31 magnesium; Vacuum; Vol. 117
著者:: Surmeneva M. A. Maria Alexandrovna
出版事項: (2015)

Influence of deposition conditions on the composition, texture and microstructure of RF-magnetron sputter-deposited hydroxyapatite thin films; Thin Solid Films; Vol. 591, pt. В : Selected papers from 16th International Conference on Thin Films, October 13-16, 2014, Dubrovnik, Croatia
出版事項: (2015)

Obtaining a Material Based on Я-SiC and Carbon Fibers Using an Electric Arc Technique; Inorganic Materials: Applied Research; Vol. 10, iss. 4
出版事項: (2019)

Sintered Silicon Carbide composites deposited on zirconium alloy substrates in air and Ar atmosphere – Part I: Evaluation of scratch adhesion and tribology properties; Materials Letters; Vol. 306
出版事項: (2022)

Controlling the Properties of Metal Films Deposited Using Magnetron Sputtering Systems with Evaporative Targets; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
出版事項: (2019)

Лазерная наплавка металлокерамических покрытий TiB2-Ni с использованием вакуумной металлизации; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
著者:: Баянова Е. О.
出版事項: (2025)

Influence of the elemental composition on the structural and mechanical characteristics of entropy-stabilized HfZrCeYMgAlO thin films prepared by reactive magnetron sputtering; Ceramics International; Vol. 50, iss. 18, Pt. A
出版事項: (2024)

Influence of Cu Substitution on the Properties of Hydroxyapatite Targets and Deposited Coatings; Coatings; Vol. 13, iss. 11
出版事項: (2023)

On the Application of Oxynitride Thin Films in Biomedicine; Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 18, iss. 1 supplement
出版事項: (2024)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 10/3
著者:: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
出版事項: (2014)