Сравнительный анализ особенностей формирования состава плазмы при магнетронном распылении карбида кремния с использованием охлаждаемой и горячей мишеней; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XХII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2025/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; под ред. И. А. Курзиной [и др.].— .— Томск: Изд-во ТПУ Т. 1 : Физика.— 2025.— С. 263-265 |
|---|---|
| المؤلف الرئيسي: | |
| مؤلفون آخرون: | |
| الملخص: | Заглавие с экрана In this work the influence of the target type on the peculiarities of plasma composition formation during magnetron sputtering of silicon carbide is considered. The plasma composition was determined by optical emission spectroscopy. It is revealed that at magnetron sputtering of hot target the intensity of plasma components increases Текстовый файл |
| اللغة: | الروسية |
| منشور في: |
2025
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/132865 |
| التنسيق: | الكتروني فصل الكتاب |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=682463 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 682463 | ||
| 005 | 20251101142056.0 | ||
| 090 | |a 682463 | ||
| 100 | |a 20251020d2025 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 200 | 1 | |a Сравнительный анализ особенностей формирования состава плазмы при магнетронном распылении карбида кремния с использованием охлаждаемой и горячей мишеней |d Comparative analysis of features of plasma composition formation during magnetron sputtering of silicon carbide using cooled and hot targets |f М. Э. Фишер, В. А. Грудинин |g науч. рук. В. А. Грудинин |z eng | |
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a Список литературы: 6 назв | ||
| 330 | |a In this work the influence of the target type on the peculiarities of plasma composition formation during magnetron sputtering of silicon carbide is considered. The plasma composition was determined by optical emission spectroscopy. It is revealed that at magnetron sputtering of hot target the intensity of plasma components increases | ||
| 336 | |a Текстовый файл | ||
| 461 | 1 | |0 682243 |t Перспективы развития фундаментальных наук |l Prospects of Fundamental Sciences Development |o сборник научных трудов XХII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2025 |9 682243 |c Томск |n Изд-во ТПУ |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; под ред. И. А. Курзиной [и др.] | |
| 463 | 1 | |0 682245 |9 682245 |t Т. 1 : Физика |d 2025 |u conference_tpu-2025-C21_V1.pdf |v С. 263-265 |l Vol. 1 : Physics | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a silicon carbide | |
| 610 | 1 | |a magnetron sputtering | |
| 610 | 1 | |a OES-analysis | |
| 700 | 1 | |a Фишер |b М. Э. | |
| 701 | 1 | |a Грудинин |b В. А. |c физик |c инженер Томского политехнического университета |f 1995- |g Владислав Алексеевич |9 21518 | |
| 702 | 1 | |a Грудинин |b В. А. |c физик |c инженер Томского политехнического университета |f 1995- |g Владислав Алексеевич |4 727 | |
| 801 | 0 | |a RU |b 63413507 |c 20251020 |g RCR | |
| 850 | |a 63413507 | ||
| 856 | 4 | |z http://earchive.tpu.ru/handle/11683/132865 |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/132865 | |
| 942 | |c CF | ||