Фишер М. Э. & Грудинин В. А. Владислав Алексеевич. (2025). Сравнительный анализ особенностей формирования состава плазмы при магнетронном распылении карбида кремния с использованием охлаждаемой и горячей мишеней. 2025.
Chicago Style (17th ed.) CitationФишер М. Э. and Грудинин В. А. Владислав Алексеевич. Сравнительный анализ особенностей формирования состава плазмы при магнетронном распылении карбида кремния с использованием охлаждаемой и горячей мишеней. 2025, 2025.
MLA (9th ed.) CitationФишер М. Э. and Грудинин В. А. Владислав Алексеевич. Сравнительный анализ особенностей формирования состава плазмы при магнетронном распылении карбида кремния с использованием охлаждаемой и горячей мишеней. 2025, 2025.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.