Иванова А. И. Анна Ивановна, Вахрушев Д. О. Димитрий Олегович, Корнева О. С. Ольга Сергеевна, Гурулев А. В. Александр Валерьевич, Варлачев В. А. Валерий Александрович, Ефимов Д. Д. Дмитрий Давидович, & Чернышев А. А. (2024). Исследование высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний в условиях энергетического воздействия пучка на поверхность. 2024.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումИванова А. И. Анна Ивановна, Вахрушев Д. О. Димитрий Олегович, Корнева О. С. Ольга Сергеевна, Гурулев А. В. Александр Валерьевич, Варлачев В. А. Валерий Александрович, Ефимов Д. Д. Дмитрий Давидович, and Чернышев А. А. Исследование высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний в условиях энергетического воздействия пучка на поверхность. 2024, 2024.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումИванова А. И. Анна Ивановна, et al. Исследование высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний в условиях энергетического воздействия пучка на поверхность. 2024, 2024.