Химическое газофазное осаждение тонких пленок оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия в качестве прекурсора; Письма в Журнал технической физики; Т. 51, № 13
| Parent link: | Письма в Журнал технической физики=Technical Physics Letters/ Российская академия наук, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе.— .— Санкт-Петербург: Наука, 1975-.— 0320-0116 Т. 51, № 13.— 2025.— С. 49-53 |
|---|---|
| 其他作者: | Митулинский А. С. Александр Сергеевич, Гайдайчук А. В. Александр Валерьевич, Зенкин С. П. Сергей Петрович, Линник С. А. Степан Андреевич |
| 總結: | Заглавие с экрана Исследован процесс химического газофазного осаждения тонких пленок оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия в качестве прекурсора. Определены параметры осаждения, обеспечивающие высокую скорость роста покрытия (до ~ 0.94 μm/min). Установлено, что полученные покрытия имеют аморфную структуру, а их последующий отжиг при 1200 oC приводит к кристаллизации с формированием фаз α-Al2O3, kappa-Al2O3 и γ-Al2O3. Показано, что использование изопропилата алюминия позволяет получать покрытия высокой чистоты при относительно низких температурах осаждения. Ключевые слова: химическое газофазное осаждение, тонкие пленки, оксид алюминия, термостойкость, термобарьерные покрытия Текстовый файл |
| 語言: | 俄语 |
| 出版: |
2025
|
| 主題: | |
| 在線閱讀: | https://journals.ioffe.ru/articles/60705 |
| 格式: | 電子 Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=680715 |
相似書籍
Исследование тонких плёнок оксида алюминия на титане; Перспективы развития фундаментальных наук
由: Чэнь Ле
出版: (2013)
由: Чэнь Ле
出版: (2013)
Коррозионностойкие и жаростойкие материалы. Химическое газофазное осаждение защитных покрытий. Курс лекций
由: Душик В. В.
出版: (Москва, МИСИС, 2013)
由: Душик В. В.
出版: (Москва, МИСИС, 2013)
Effect of Structure and Phase Composition on Thermocyclic Stability of Thermo-Barrier Coatings Zr-O Deposited by Microplasma Method on a Copper Substrate; AIP Conference Proceedings; Vol. 2051 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2018 (AMHS’18)
出版: (2018)
出版: (2018)
Коррозионностойкие и жаростойкие материалы : химическое газофазное осаждение защитных покрытий курс лекций
由: Душик В. В.
出版: (Москва, МИСИС, 2013)
由: Душик В. В.
出版: (Москва, МИСИС, 2013)
Разработка метода отделения тонких пленок анодного оксида алюминия от подложки; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
由: Цзи Синьюй
出版: (2023)
由: Цзи Синьюй
出版: (2023)
Микроструктурирование тонких пленок
出版: (Москва, Наука, 1991)
出版: (Москва, Наука, 1991)
Химическое газофазное осаждение тугоплавких неорганических материалов: сборник статей
出版: (Ленинград, ГИПХ, 1976)
出版: (Ленинград, ГИПХ, 1976)
Металлургия алюминия учебное пособие
由: Лысенко А. П.
出版: (Москва, МИСИС, 2012)
由: Лысенко А. П.
出版: (Москва, МИСИС, 2012)
Термопрочность тугоплавких материалов, полученных газофазным осаждением: [монография]
由: Хусаинов М. А. Михаил Андреевич
出版: (Ленинград, Изд-во Ленинградского ун-та, 1979)
由: Хусаинов М. А. Михаил Андреевич
出版: (Ленинград, Изд-во Ленинградского ун-та, 1979)
Влияние типа прекурсора на размер частиц нитрида алюминия, получаемого плазмодинамическим способом; Современные техника и технологии; Т. 1
由: Гуков М. И.
出版: ()
由: Гуков М. И.
出版: ()
Оптическая и установочная керамика на основе оксида алюминия: текст лекций
由: Козловский Л. В. Лев Васильевич
出版: (Ленинград, ЛТИ им. Ленсовета, 1989)
由: Козловский Л. В. Лев Васильевич
出版: (Ленинград, ЛТИ им. Ленсовета, 1989)
Влияние анизотропии на напряженно-деформированное состояние и потерю устойчивости керамического защитного покрытия при тепловом ударе; Физическая мезомеханика; Т. 18, № 3
出版: (2015)
出版: (2015)
Технология тонких пленок: практикум
由: Никулин Д. М.
出版: (Новосибирск, СГУГиТ, 2023)
由: Никулин Д. М.
出版: (Новосибирск, СГУГиТ, 2023)
Вакуумное нанесение тонких пленок
由: Данилин Б. С. Борис Степанович
出版: (Москва, Энергия, 1967)
由: Данилин Б. С. Борис Степанович
出版: (Москва, Энергия, 1967)
Синтез и характеристика нанопорошков оксида алюминия различными способами; Современные проблемы машиностроения
由: Фу Цзиньюй
出版: (2024)
由: Фу Цзиньюй
出版: (2024)
Коагуляция и динамика тонких пленок
由: Духин С. С. Станислав Самуилович
出版: (Киев, Наукова думка, 1986)
由: Духин С. С. Станислав Самуилович
出版: (Киев, Наукова думка, 1986)
Магнитооптика тонких пленок
由: Звездин А. К. Анатолий Константинович
出版: (Москва, Наука, 1988)
由: Звездин А. К. Анатолий Константинович
出版: (Москва, Наука, 1988)
Получение и исследование анодного оксида алюминия практикум
由: Филяк М. М.
出版: (Оренбург, ОГУ, 2015)
由: Филяк М. М.
出版: (Оренбург, ОГУ, 2015)
Химические методы получения тонких прозрачных пленок
由: Суйковская Н. В. Нина Владимировна
出版: (Ленинград, Химия, 1971)
由: Суйковская Н. В. Нина Владимировна
出版: (Ленинград, Химия, 1971)
Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок
由: Васичев Б. Н. Борис Никитович
出版: (Москва, Металлургия, 1977)
由: Васичев Б. Н. Борис Никитович
出版: (Москва, Металлургия, 1977)
Т. 1; Технология тонких пленок
出版: (1977)
出版: (1977)
Оптическая, эмисионная и время-разрешенная спектроскопия тонких наноструктурированных слоев на основе гамма-оксида алюминия; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 12-3
出版: (2014)
出版: (2014)
О зависимости структурных параметров пленок Co от температуры подложки в процессе химического газофазного осаждения; Современное состояние естественных и технических наук
由: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
出版: (2014)
由: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
出版: (2014)
Получение и свойства тонких пленок: сборник научных трудов
出版: (Киев, Наукова думка, 1982)
出版: (Киев, Наукова думка, 1982)
Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
由: Васильев В. Ю.
出版: (Новосибирск, НГТУ, 2021)
由: Васильев В. Ю.
出版: (Новосибирск, НГТУ, 2021)
Газофазное осаждение покрытий из нитрида титана
由: Витязь П. А. Петр Александрович
出版: (Минск, Наука и техника, 1983)
由: Витязь П. А. Петр Александрович
出版: (Минск, Наука и техника, 1983)
Улучшение адгезии поликристаллических алмазных пленок на режущем инструменте из WC-Co методом химического травления; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 7/2
由: Линник С. А. Степан Андреевич
出版: (2013)
由: Линник С. А. Степан Андреевич
出版: (2013)
Т. 2; Технология тонких пленок
出版: (1977)
出版: (1977)
Непрерывные неорганические волокна для композиционных материалов
由: Цирлин А. М. Александр Михайлович
出版: (Москва, Металлургия, 1992)
由: Цирлин А. М. Александр Михайлович
出版: (Москва, Металлургия, 1992)
Влияние температуры отжига на морфологию оксида алюминия; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
由: Тайыбов А. Ф. Азер Фейзуллах оглы
出版: (2014)
由: Тайыбов А. Ф. Азер Фейзуллах оглы
出版: (2014)
Получение анодного оксида алюминия; Научная инициатива иностранных студентов и аспирантов российских вузов
由: Ху Чуаньнин
出版: (2020)
由: Ху Чуаньнин
出版: (2020)
Теория устойчивости коллоидов и тонких пленок
由: Дерягин Б. В. Борис Владимирович
出版: (Москва, Наука, 1986)
由: Дерягин Б. В. Борис Владимирович
出版: (Москва, Наука, 1986)
Результаты неэмперического и экспериментального исследования кислотности поверхности оксида алюминия; Перспективы развития фундаментальных наук
由: Иконникова К. В. Ксения Владимировна
出版: (2008)
由: Иконникова К. В. Ксения Владимировна
出版: (2008)
Оптические свойства оксида алюминия после имплантации ионов кобальта и отжига; ФВЗЧК-2008
由: Кабышев А. В. Александр Васильевич
出版: (2008)
由: Кабышев А. В. Александр Васильевич
出版: (2008)
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
由: Данилин Б. С. Борис Степанович
出版: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)
由: Данилин Б. С. Борис Степанович
出版: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)
Оптические свойства поликристаллического оксида алюминия после облучения ионами железа и отжига; ФВЗЧК-2006
由: Кабышев А. В. Александр Васильевич
出版: (2006)
由: Кабышев А. В. Александр Васильевич
出版: (2006)
Оптические свойства поликристаллического оксида алюминия после облучения ионами хрома и отжига; ФВЗЧК-2005
由: Кабышев А. В. Александр Васильевич
出版: (2005)
由: Кабышев А. В. Александр Васильевич
出版: (2005)
Получение анодного оксида алюминия; Научная инициатива иностранных студентов и аспирантов; Т. 1
由: Цзи Синьюй
出版: (2021)
由: Цзи Синьюй
出版: (2021)
Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
由: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
出版: (2009)
由: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
出版: (2009)
Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
由: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
出版: (Томск, 1998)
由: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
出版: (Томск, 1998)
相似書籍
-
Исследование тонких плёнок оксида алюминия на титане; Перспективы развития фундаментальных наук
由: Чэнь Ле
出版: (2013) -
Коррозионностойкие и жаростойкие материалы. Химическое газофазное осаждение защитных покрытий. Курс лекций
由: Душик В. В.
出版: (Москва, МИСИС, 2013) -
Effect of Structure and Phase Composition on Thermocyclic Stability of Thermo-Barrier Coatings Zr-O Deposited by Microplasma Method on a Copper Substrate; AIP Conference Proceedings; Vol. 2051 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2018 (AMHS’18)
出版: (2018) -
Коррозионностойкие и жаростойкие материалы : химическое газофазное осаждение защитных покрытий курс лекций
由: Душик В. В.
出版: (Москва, МИСИС, 2013) -
Разработка метода отделения тонких пленок анодного оксида алюминия от подложки; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
由: Цзи Синьюй
出版: (2023)