Химическое газофазное осаждение тонких пленок оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия в качестве прекурсора; Письма в Журнал технической физики; Т. 51, № 13

Химическое газофазное осаждение тонких пленок оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия в качестве прекурсора; Письма в Журнал технической физики; Т. 51, № 13

Dades bibliogràfiques
Parent link:	Письма в Журнал технической физики=Technical Physics Letters/ Российская академия наук, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе.— .— Санкт-Петербург: Наука, 1975-.— 0320-0116 Т. 51, № 13.— 2025.— С. 49-53
Altres autors:	Митулинский А. С. Александр Сергеевич, Гайдайчук А. В. Александр Валерьевич, Зенкин С. П. Сергей Петрович, Линник С. А. Степан Андреевич
Sumari:	Заглавие с экрана Исследован процесс химического газофазного осаждения тонких пленок оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия в качестве прекурсора. Определены параметры осаждения, обеспечивающие высокую скорость роста покрытия (до ~ 0.94 μm/min). Установлено, что полученные покрытия имеют аморфную структуру, а их последующий отжиг при 1200 oC приводит к кристаллизации с формированием фаз α-Al2O3, kappa-Al2O3 и γ-Al2O3. Показано, что использование изопропилата алюминия позволяет получать покрытия высокой чистоты при относительно низких температурах осаждения. Ключевые слова: химическое газофазное осаждение, тонкие пленки, оксид алюминия, термостойкость, термобарьерные покрытия Текстовый файл
Idioma:	rus
Publicat:	2025
Matèries:	химическое газофазное осаждение тонкие пленки оксид алюминия термостойкость термобарьерные покрытия электронный ресурс труды учёных ТПУ
Accés en línia:	https://journals.ioffe.ru/articles/60705
Format:	MixedMaterials Electrònic Capítol de llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=680715

Ítems similars

Исследование тонких плёнок оксида алюминия на титане; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Чэнь Ле
Publicat: (2013)

Коррозионностойкие и жаростойкие материалы. Химическое газофазное осаждение защитных покрытий. Курс лекций
per: Душик В. В.
Publicat: (Москва, МИСИС, 2013)

Разработка метода отделения тонких пленок анодного оксида алюминия от подложки; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
per: Цзи Синьюй
Publicat: (2023)

Effect of Structure and Phase Composition on Thermocyclic Stability of Thermo-Barrier Coatings Zr-O Deposited by Microplasma Method on a Copper Substrate; AIP Conference Proceedings; Vol. 2051 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2018 (AMHS’18)
Publicat: (2018)

Оптическая и установочная керамика на основе оксида алюминия: текст лекций
per: Козловский Л. В. Лев Васильевич
Publicat: (Ленинград, ЛТИ им. Ленсовета, 1989)

Получение анодного оксида алюминия; Научная инициатива иностранных студентов и аспирантов; Т. 1
per: Цзи Синьюй
Publicat: (2021)

Синтез и характеристика нанопорошков оксида алюминия различными способами; Современные проблемы машиностроения
per: Фу Цзиньюй
Publicat: (2024)

Коррозионностойкие и жаростойкие материалы : химическое газофазное осаждение защитных покрытий курс лекций
per: Душик В. В.
Publicat: (Москва, МИСИС, 2013)

Оптическая, эмисионная и время-разрешенная спектроскопия тонких наноструктурированных слоев на основе гамма-оксида алюминия; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 12-3
Publicat: (2014)

Результаты неэмперического и экспериментального исследования кислотности поверхности оксида алюминия; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Иконникова К. В. Ксения Владимировна
Publicat: (2008)

Влияние оксида алюминия на пороги лазерного зажигания смеси нанопорошка алюминия и оксида железа; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 323, № 2 : Математика и механика. Физика
per: Медведев В. В. Валерий Викторович
Publicat: (2013)

Сорбционные процессы на волокнистом оксиде алюминия; Проблемы геологии и освоения недр
per: Даниленко Н. Б. Нина Борисовна
Publicat: (2004)

Получение анодного оксида алюминия; Научная инициатива иностранных студентов и аспирантов российских вузов
per: Ху Чуаньнин
Publicat: (2020)

Влияние температуры отжига на морфологию оксида алюминия; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
per: Тайыбов А. Ф. Азер Фейзуллах оглы
Publicat: (2014)

Адсорбционная способность наноразмерного волокнистого оксида алюминия; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 1
Publicat: (2004)

Оптические свойства поликристаллического оксида алюминия после облучения ионами железа и отжига; ФВЗЧК-2006
per: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicat: (2006)

Оптические свойства поликристаллического оксида алюминия после облучения ионами хрома и отжига; ФВЗЧК-2005
per: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicat: (2005)

Влияние суспензий нанодисперсного оксида алюминия на свойства портландцемента; Химия и химическая технология в XXI веке
per: Корнеева Н. А.
Publicat: (2018)

Влияние щелочного модифицирования на адсорбционные свойства оксида алюминия; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
per: Ливанова А. В.
Publicat: (2018)

Оптические свойства оксида алюминия после имплантации ионов кобальта и отжига; ФВЗЧК-2008
per: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicat: (2008)

Исследование технологических процессов получения ультрадисперсных порошков нитрида алюминия, сложных оксидов циркония, алюминия, иттрия, кальция и магния для создания высокопрочной керамики; Аналитический обзор способов производства нитрида алюминия и сложных оксидов на основе алюминия и циркония плазмохимическими способами и расчеты равновесия реакций получения данных соединений: отчет о НИР
Publicat: (Томск, 1990)

Формирование квантовых точек InAs в матрице оксида алюминия; Письма в Журнал технической физики; Т. 28, вып. 13
Publicat: (2002)

Активированное спекание керамики на основе оксида алюминия; Современное материаловедение: материалы и технологии новых поколений
per: Егоров С. А.
Publicat: (2014)

Восстановление технеция-99м для получения меченного наноколлоида на основе оксида алюминия; Современные техника и технологии; Т. 3
per: Меренкова Т. В.
Publicat: (2011)

Исследование технологических процессов получения ультрадисперсных порошков нитрида алюминия, сложных оксидов циркония, алюминия, иттрия, кальция и магния для создания высокопрочной керамики.; Получение ультрадисперсных порошков сложных оксидов на основе алюминия. Анализ элементного состава данных оксидов и нитрида алюминия.: отчет о НИР (промежуточный); тема : х/д 0-3/90
Publicat: (Томск, 1990)

О возможности плазмодинамического синтеза оксида алюминия; Химия и химическая технология в XXI веке
per: Циммерман А. И. Александр Игоревич
Publicat: (2017)

Создание функциональной керамики на основе оксида алюминия и кремния; Современные технологии и материалы новых поколений
per: Лисица А. А.
Publicat: (2017)

Непрерывные неорганические волокна для композиционных материалов
per: Цирлин А. М. Александр Михайлович
Publicat: (Москва, Металлургия, 1992)

Использование оксида алюминия для удаления из водного раствора ионов фтора; Инновационные технологии в машиностроении
per: Максимов П. Н. Прокопий Николаевич
Publicat: (2024)

Изучение сорбционных свойств модифицированного волокнистого наноразмерного оксида алюминия; Химия и химическая технология на рубеже тысячелетий
Publicat: (2004)

Получение керамических мембран на основе оксида алюминия для очистки воды; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
per: Гурьянов Д. А. Денис Андреевич
Publicat: (2018)

Исследование адсорбционных свойств оксида алюминия, полученного модифицированным золь-гель синтезом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
per: Хрусталева К. А.
Publicat: (2016)

Баллистическая эффективность бронекерамики на основе оксида алюминия с разными добавками; Современные техника и технологии; Т. 2
per: Чаплина Е. В.
Publicat: (2012)

Особенности люминесценции наноструктурного оксида алюминия с примесью хрома; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
Publicat: (2011)

Получение наночастиц оксида алюминия с различной морфологией; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
per: Сюэ Мэн
Publicat: (2018)

Влияние совместной имплантации ионов железа и хрома на оптические свойства оксида алюминия; ФВЗЧК-2009
per: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicat: (2009)

Получение и исследование анодного оксида алюминия практикум
per: Филяк М. М.
Publicat: (Оренбург, ОГУ, 2015)

Исследование активности слабых бренстедовских центров цеолитов на основе оксида алюминия; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
per: Барнакова В. С.
Publicat: (2011)

Анализ и обработка АСМ-изображений анодного оксида алюминия; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
per: Гришанков А. А.
Publicat: (2021)

Оптические свойства оксида алюминия после облучения ионами кобальта; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 4
per: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicat: (2009)