Химическое газофазное осаждение тонких пленок оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия в качестве прекурсора; Письма в Журнал технической физики; Т. 51, № 13

Химическое газофазное осаждение тонких пленок оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия в качестве прекурсора; Письма в Журнал технической физики; Т. 51, № 13

書目詳細資料
Parent link:	Письма в Журнал технической физики=Technical Physics Letters/ Российская академия наук, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе.— .— Санкт-Петербург: Наука, 1975-.— 0320-0116 Т. 51, № 13.— 2025.— С. 49-53
其他作者:	Митулинский А. С. Александр Сергеевич, Гайдайчук А. В. Александр Валерьевич, Зенкин С. П. Сергей Петрович, Линник С. А. Степан Андреевич
總結:	Заглавие с экрана Исследован процесс химического газофазного осаждения тонких пленок оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия в качестве прекурсора. Определены параметры осаждения, обеспечивающие высокую скорость роста покрытия (до ~ 0.94 μm/min). Установлено, что полученные покрытия имеют аморфную структуру, а их последующий отжиг при 1200 oC приводит к кристаллизации с формированием фаз α-Al2O3, kappa-Al2O3 и γ-Al2O3. Показано, что использование изопропилата алюминия позволяет получать покрытия высокой чистоты при относительно низких температурах осаждения. Ключевые слова: химическое газофазное осаждение, тонкие пленки, оксид алюминия, термостойкость, термобарьерные покрытия Текстовый файл
語言:	俄语
出版:	2025
主題:	химическое газофазное осаждение тонкие пленки оксид алюминия термостойкость термобарьерные покрытия электронный ресурс труды учёных ТПУ
在線閱讀:	https://journals.ioffe.ru/articles/60705
格式:	電子 Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=680715

相似書籍

Исследование тонких плёнок оксида алюминия на титане; Перспективы развития фундаментальных наук
由: Чэнь Ле
出版: (2013)

Коррозионностойкие и жаростойкие материалы. Химическое газофазное осаждение защитных покрытий. Курс лекций
由: Душик В. В.
出版: (Москва, МИСИС, 2013)

Effect of Structure and Phase Composition on Thermocyclic Stability of Thermo-Barrier Coatings Zr-O Deposited by Microplasma Method on a Copper Substrate; AIP Conference Proceedings; Vol. 2051 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2018 (AMHS’18)
出版: (2018)

Коррозионностойкие и жаростойкие материалы : химическое газофазное осаждение защитных покрытий курс лекций
由: Душик В. В.
出版: (Москва, МИСИС, 2013)

Разработка метода отделения тонких пленок анодного оксида алюминия от подложки; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
由: Цзи Синьюй
出版: (2023)

Микроструктурирование тонких пленок
出版: (Москва, Наука, 1991)

Химическое газофазное осаждение тугоплавких неорганических материалов: сборник статей
出版: (Ленинград, ГИПХ, 1976)

Металлургия алюминия учебное пособие
由: Лысенко А. П.
出版: (Москва, МИСИС, 2012)

Термопрочность тугоплавких материалов, полученных газофазным осаждением: [монография]
由: Хусаинов М. А. Михаил Андреевич
出版: (Ленинград, Изд-во Ленинградского ун-та, 1979)

Влияние типа прекурсора на размер частиц нитрида алюминия, получаемого плазмодинамическим способом; Современные техника и технологии; Т. 1
由: Гуков М. И.
出版: ()

Оптическая и установочная керамика на основе оксида алюминия: текст лекций
由: Козловский Л. В. Лев Васильевич
出版: (Ленинград, ЛТИ им. Ленсовета, 1989)

Влияние анизотропии на напряженно-деформированное состояние и потерю устойчивости керамического защитного покрытия при тепловом ударе; Физическая мезомеханика; Т. 18, № 3
出版: (2015)

Технология тонких пленок: практикум
由: Никулин Д. М.
出版: (Новосибирск, СГУГиТ, 2023)

Вакуумное нанесение тонких пленок
由: Данилин Б. С. Борис Степанович
出版: (Москва, Энергия, 1967)

Синтез и характеристика нанопорошков оксида алюминия различными способами; Современные проблемы машиностроения
由: Фу Цзиньюй
出版: (2024)

Коагуляция и динамика тонких пленок
由: Духин С. С. Станислав Самуилович
出版: (Киев, Наукова думка, 1986)

Магнитооптика тонких пленок
由: Звездин А. К. Анатолий Константинович
出版: (Москва, Наука, 1988)

Получение и исследование анодного оксида алюминия практикум
由: Филяк М. М.
出版: (Оренбург, ОГУ, 2015)

Химические методы получения тонких прозрачных пленок
由: Суйковская Н. В. Нина Владимировна
出版: (Ленинград, Химия, 1971)

Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок
由: Васичев Б. Н. Борис Никитович
出版: (Москва, Металлургия, 1977)

Т. 1; Технология тонких пленок
出版: (1977)

Оптическая, эмисионная и время-разрешенная спектроскопия тонких наноструктурированных слоев на основе гамма-оксида алюминия; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 12-3
出版: (2014)

О зависимости структурных параметров пленок Co от температуры подложки в процессе химического газофазного осаждения; Современное состояние естественных и технических наук
由: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
出版: (2014)

Получение и свойства тонких пленок: сборник научных трудов
出版: (Киев, Наукова думка, 1982)

Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
由: Васильев В. Ю.
出版: (Новосибирск, НГТУ, 2021)

Газофазное осаждение покрытий из нитрида титана
由: Витязь П. А. Петр Александрович
出版: (Минск, Наука и техника, 1983)

Улучшение адгезии поликристаллических алмазных пленок на режущем инструменте из WC-Co методом химического травления; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 7/2
由: Линник С. А. Степан Андреевич
出版: (2013)

Т. 2; Технология тонких пленок
出版: (1977)

Непрерывные неорганические волокна для композиционных материалов
由: Цирлин А. М. Александр Михайлович
出版: (Москва, Металлургия, 1992)

Влияние температуры отжига на морфологию оксида алюминия; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
由: Тайыбов А. Ф. Азер Фейзуллах оглы
出版: (2014)

Получение анодного оксида алюминия; Научная инициатива иностранных студентов и аспирантов российских вузов
由: Ху Чуаньнин
出版: (2020)

Теория устойчивости коллоидов и тонких пленок
由: Дерягин Б. В. Борис Владимирович
出版: (Москва, Наука, 1986)

Результаты неэмперического и экспериментального исследования кислотности поверхности оксида алюминия; Перспективы развития фундаментальных наук
由: Иконникова К. В. Ксения Владимировна
出版: (2008)

Оптические свойства оксида алюминия после имплантации ионов кобальта и отжига; ФВЗЧК-2008
由: Кабышев А. В. Александр Васильевич
出版: (2008)

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
由: Данилин Б. С. Борис Степанович
出版: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)

Оптические свойства поликристаллического оксида алюминия после облучения ионами железа и отжига; ФВЗЧК-2006
由: Кабышев А. В. Александр Васильевич
出版: (2006)

Оптические свойства поликристаллического оксида алюминия после облучения ионами хрома и отжига; ФВЗЧК-2005
由: Кабышев А. В. Александр Васильевич
出版: (2005)

Получение анодного оксида алюминия; Научная инициатива иностранных студентов и аспирантов; Т. 1
由: Цзи Синьюй
出版: (2021)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
由: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
出版: (2009)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
由: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
出版: (Томск, 1998)