Химическое газофазное осаждение тонких пленок оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия в качестве прекурсора; Письма в Журнал технической физики; Т. 51, № 13
| Parent link: | Письма в Журнал технической физики=Technical Physics Letters/ Российская академия наук, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе.— .— Санкт-Петербург: Наука, 1975-.— 0320-0116 Т. 51, № 13.— 2025.— С. 49-53 |
|---|---|
| Drugi avtorji: | , , , |
| Izvleček: | Заглавие с экрана Исследован процесс химического газофазного осаждения тонких пленок оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия в качестве прекурсора. Определены параметры осаждения, обеспечивающие высокую скорость роста покрытия (до ~ 0.94 μm/min). Установлено, что полученные покрытия имеют аморфную структуру, а их последующий отжиг при 1200 oC приводит к кристаллизации с формированием фаз α-Al2O3, kappa-Al2O3 и γ-Al2O3. Показано, что использование изопропилата алюминия позволяет получать покрытия высокой чистоты при относительно низких температурах осаждения. Ключевые слова: химическое газофазное осаждение, тонкие пленки, оксид алюминия, термостойкость, термобарьерные покрытия Текстовый файл |
| Jezik: | ruščina |
| Izdano: |
2025
|
| Teme: | |
| Online dostop: | https://journals.ioffe.ru/articles/60705 |
| Format: | Elektronski Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=680715 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 680715 | ||
| 005 | 20250620101737.0 | ||
| 090 | |a 680715 | ||
| 100 | |a 20250620d2025 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i |b e | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 183 | 0 | |a cr |2 RDAcarrier | |
| 200 | 1 | |a Химическое газофазное осаждение тонких пленок оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия в качестве прекурсора |f А. С. Митулинский, А. В. Гайдайчук, С. П. Зенкин, С. А. Линник | |
| 203 | |a Текст |c электронный |b визуальный | ||
| 283 | |a online_resource |2 RDAcarrier | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a Список литературы: 11 назв | ||
| 330 | |a Исследован процесс химического газофазного осаждения тонких пленок оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия в качестве прекурсора. Определены параметры осаждения, обеспечивающие высокую скорость роста покрытия (до ~ 0.94 μm/min). Установлено, что полученные покрытия имеют аморфную структуру, а их последующий отжиг при 1200 oC приводит к кристаллизации с формированием фаз α-Al2O3, kappa-Al2O3 и γ-Al2O3. Показано, что использование изопропилата алюминия позволяет получать покрытия высокой чистоты при относительно низких температурах осаждения. Ключевые слова: химическое газофазное осаждение, тонкие пленки, оксид алюминия, термостойкость, термобарьерные покрытия | ||
| 336 | |a Текстовый файл | ||
| 461 | 1 | |0 379967 |9 379967 |t Письма в Журнал технической физики |l Technical Physics Letters |f Российская академия наук, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе |c Санкт-Петербург |n Наука |d 1975- |x 0320-0116 | |
| 463 | 1 | |t Т. 51, № 13 |v С. 49-53 |d 2025 | |
| 610 | 1 | |a химическое газофазное осаждение | |
| 610 | 1 | |a тонкие пленки | |
| 610 | 1 | |a оксид алюминия | |
| 610 | 1 | |a термостойкость | |
| 610 | 1 | |a термобарьерные покрытия | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 701 | 1 | |a Митулинский |b А. С. |c специалист в области электроэнергетики |c техник Томского политехнического университета |f 1998- |g Александр Сергеевич |9 22538 | |
| 701 | 1 | |a Гайдайчук |b А. В. |c российский физик |c аспирант, инженер-исследователь Томского политехнического университета |f 1984- |g Александр Валерьевич |9 13161 | |
| 701 | 1 | |a Зенкин |b С. П. |c физик |c научный сотрудник Томского политехнического университета |f 1988- |g Сергей Петрович |9 21446 | |
| 701 | 1 | |a Линник |b С. А. |c физик |c инженер-исследователь Томского политехнического университета |f 1985- |g Степан Андреевич |9 13164 | |
| 801 | 0 | |a RU |b 63413507 |c 20250620 |g RCR | |
| 850 | |a 63413507 | ||
| 856 | 4 | |u https://journals.ioffe.ru/articles/60705 |z https://journals.ioffe.ru/articles/60705 | |
| 942 | |c CF | ||