Митулинский А. С. Александр Сергеевич, Гайдайчук А. В. Александр Валерьевич, Зенкин С. П. Сергей Петрович, & Линник С. А. Степан Андреевич. (2025). Химическое газофазное осаждение тонких пленок оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия в качестве прекурсора; Письма в Журнал технической физики; Т. 51, № 13. 2025.
Citace podle Chicago (17th ed.)Митулинский А. С. Александр Сергеевич, Гайдайчук А. В. Александр Валерьевич, Зенкин С. П. Сергей Петрович, a Линник С. А. Степан Андреевич. Химическое газофазное осаждение тонких пленок оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия в качестве прекурсора; Письма в Журнал технической физики; Т. 51, № 13. 2025, 2025.
Citace podle MLA (9th ed.)Митулинский А. С. Александр Сергеевич, et al. Химическое газофазное осаждение тонких пленок оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия в качестве прекурсора; Письма в Журнал технической физики; Т. 51, № 13. 2025, 2025.