Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность

Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность

Detalles Bibliográficos
Parent link:Известия вузов. Физика=Russian Physics Journal: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет.— .— Томск: Изд-во ТГУ, 1958-.— 0021-3411
Т. 66, № 4.— 2023.— С. 134-137
Otros Autores: Вахрушев Д. О. Димитрий Олегович, Гурулев А. В. Александр Валерьевич, Ефимов Д. Д. Дмитрий Давидович, Иванова А. И. Анна Ивановна, Корнева О. С. Ольга Сергеевна
Sumario:Заглавие с экрана
Изучен метод глубокого ионного легирования материалов, основанного на синергии высокоинтенсивной имплантации и энергетического воздействия на поверхность пучка ионов с высокой плотностью мощности субмиллисекундной длительности. Показана возможность получения ионно-легированных слоёв с толщиной от менее 0.1 мкм до более чем 1 мкм в зависимости от флюенса облучения
A method of deep ion doping of materials based on the synergy of high-intensity implantation and the energy impact on the surface of an ion beam with a high power density of submillisecond pulse duration are studied. The possibility of obtaining ion-doped layers with a thickness from less than 0.1 µm to more than 1 µm depending on the irradiation fluence is shown
Текстовый файл
Publicado: 2023
Materias:
ионная имплантация
энергетическое воздействие
динамика температурных полей
радиационно-стимулированная диффузия
глубокое ионное легирование
труды учёных ТПУ
электронный ресурс
Acceso en línea:https://www.elibrary.ru/item.asp?id=53325174
Formato: Electrónico Capítulo de libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=680392

Ejemplares similares

Ejemplares similares