Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 66, № 4

Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 66, № 4

Dades bibliogràfiques
Parent link:	Известия вузов. Физика=Russian Physics Journal: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет.— .— Томск: Изд-во ТГУ, 1958-.— 0021-3411 Т. 66, № 4.— 2023.— С. 134-137
Altres autors:	Вахрушев Д. О. Димитрий Олегович, Гурулев А. В. Александр Валерьевич, Ефимов Д. Д. Дмитрий Давидович, Иванова А. И. Анна Ивановна, Корнева О. С. Ольга Сергеевна
Sumari:	Заглавие с экрана Изучен метод глубокого ионного легирования материалов, основанного на синергии высокоинтенсивной имплантации и энергетического воздействия на поверхность пучка ионов с высокой плотностью мощности субмиллисекундной длительности. Показана возможность получения ионно-легированных слоёв с толщиной от менее 0.1 мкм до более чем 1 мкм в зависимости от флюенса облучения A method of deep ion doping of materials based on the synergy of high-intensity implantation and the energy impact on the surface of an ion beam with a high power density of submillisecond pulse duration are studied. The possibility of obtaining ion-doped layers with a thickness from less than 0.1 µm to more than 1 µm depending on the irradiation fluence is shown Текстовый файл
Idioma:	rus
Publicat:	2023
Matèries:	ионная имплантация энергетическое воздействие динамика температурных полей радиационно-стимулированная диффузия глубокое ионное легирование труды учёных ТПУ электронный ресурс
Accés en línia:	https://www.elibrary.ru/item.asp?id=53325174
Format:	Electrònic Capítol de llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=680392

Ítems similars

Исследование высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний в условиях энергетического воздействия пучка на поверхность; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 10
Publicat: (2024)

Modification of silicon under synergy of high-intensity implantation of titanium ions and energy influence of a high-power ion beam on a surface; Materials. Technologies. Design; Т. 6, № 1
Publicat: (2024)

Особенности высокоинтенсивной имплантации ионов низкой энергии; Известия вузов. Физика; Т. 63, № 10 (754)
Publicat: (2020)

Уравнения кинетики радиационных дефектов в ГЦК-кристаллах; Приволжский научный вестник; № 5-1 (45)
per: Матвеев М. В. Максим Витальевич
Publicat: (2015)

Радиационно-стимулированная электропроводность высоковольтной керамики при облучении гамма-квантами; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
per: Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Publicat: (2015)

Исследование радиационно-стимулированной диффузии иновалентных примесей в ионных кристаллах; Материалы и технологии ХХI века
Publicat: (2000)

Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11
Publicat: (2022)

Влияние ионного облучения на свойства пиролитического нитрида бора; Взаимодействие излучений с твердым телом (ВИТТ-2017)
Publicat: (2017)

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
per: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicat: (2013)

Ионная имплантация: сборник статей
Publicat: (Москва, Металлургия, 1985)

Влияние параметров ионной имплантации и направления приложения нагрузки на поведение поверхностно-упрочнённых образцов стали 40Х13 при трёхточечном изгибе; Современные техника и технологии; Т. 2
Publicat: (2004)

Современные аспекты применения бетавольтаического эффекта: монография
per: Нагорнов Ю. С. Юрий Сергеевич
Publicat: (Ульяновск, Изд-во УлГПУ, 2012)

Особенности высокоинтенсивной имплантации хрома в сплав Zr1%Nb с использованием импульсно-периодического пучка ионов высокой плотности мощности; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
Publicat: (2024)

Ионная имплантация и лучевая технология: пер. с англ.
Publicat: (Киев, Наукова думка, 1988)

Электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 6
per: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicat: (2013)

Ионная имплантация
per: Комаров Ф. Ф. Фадей Фадеевич
Publicat: (Минск, Унiверсiтэцкае, 1994)

Модифицирование поверхности циркониевого сплава Э110 методом высокоинтенсивной ионной имплантации; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
per: Курочкин А. В.
Publicat: (2019)

Модификация стали 40Х при высокоинтенсивной имплантации ионов азота; Известия вузов. Физика; Т. 61, № 2
Publicat: (2018)

High-Intensity Implantation of Metal Ions in Conditions of Minimizing Ion Sputtering of the Material Surface; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Publicat: (2019)

Ионно-лучевая обработки внутренней поверхности отверстий из титана высокоинтенсивными пучками ионов алюминия; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE); International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (16th CMM)
Publicat: (2022)

Микропроцессорные системы управления учебное пособие. рекомендовано учебно-методическим объединением вузов российской федерации по агроинженерному образованию в качестве учебного пособия для студентов, осваивающих образовательные программы бакалавриатапо направлению подготовки «агроинженерия»
per: Кондратьева Н. П.
Publicat: (Ижевск, УдГАУ, 2016)

Ионное легирование полупроводников (Кремний и германий): пер. с англ.
per: Мейер Дж. Джеймс
Publicat: (Москва, Мир, 1973)

Моделирование температурных полей в мишенях при совмещенииимпульсно-периодической высокоинтенсивной имплантации ионов иэнергетическом воздействии на поверхность; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE); International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (16th CMM)
Publicat: (2022)

Инженерия поверхностей конструкционных материалов с использованием плазменных и пучковых технологий
per: Белый А. В.
Publicat: (Минск, Белорусская наука, 2017)

Влияние высокоинтенсивной имплантации ионов азота на структуру и поведение стали 40Х в условиях трения и износа; Физическая мезомеханика; Т. 5, № 1
Publicat: (2002)

Элионная теория в микро- и наноиндустрии.Ускоренные ионы
per: Кузнецов Г. Д.
Publicat: (Москва, МИСИС, 2012)

High-Frequency Short-Pulsed Metal Plasma-Immersion Ion Implantation Using Filtered DC Vacuum-Arc Plasma (Part II); 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
per: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Publicat: (2004)

High-Frequency Short-Pulsed Metal Plasma-Immersion Ion Implantation Using Filtered DC Vacuum-Arc Plasma (Part I); 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
per: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Publicat: (2004)

Кремний - материал наноэлектроники: учебное пособие
per: Герасименко Н. Н. Николай Николаевич
Publicat: (Москва, Техносфера, 2007)

Радиационно-индуцированная сегрегация дейтерия в сплаве FeCr и ODS-сталях; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
per: Распопова Г. А.
Publicat: (2011)

Метод и измерительная система теплового неразрушающего контроля структурных переходов в полимерных материалах
per: Попов О. Н.
Publicat: (Тамбов, ТГТУ, 2020)

Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка; Известия вузов. Физика; Т. 50, № 1
Publicat: (2007)

Современные методы исследования электромагнитных и тепловых полей при анализе процесса индукционного нагрева учебно-методическое пособие
per: Долгих И. Ю.
Publicat: (Иваново, ИГЭУ, 2019)

Высокоинтенсивная имплантация ионов титана в алюминий в условиях импульсно-периодического энергетического воздействия пучка на поверхность; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
per: Зайцев Д. Д.
Publicat: (2023)

Temperature Gradients in the Irradiated Targets During High-Intensity Implantation and Their Influence on Ion-Modified Layer Properties; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Publicat: (2019)

Mass Transfer of an Implanted Dopant in Materials under High-Power Pulsed Ion Beam Impact; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Publicat: (2004)

Влияние плазменно-иммерсионной ионной модификации на свойства поверхностных слоёв образцов никелида титана; Материалы и технологии новых поколений в современном материаловедении
Publicat: (2016)

Высокотемпературная радиационно-стимулированная диффузия катионов в ионных кристаллах: монография
Publicat: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Влияние ионного облучения на критерии правила Урбаха в оксиде алюминия; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 4
per: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicat: (2008)

Сверхвысокий вакуум в радиационно-физическом аппаратостроении
Publicat: (Москва, Атомиздат, 1976)