Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 66, № 4

Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 66, № 4

Detalles Bibliográficos
Parent link:	Известия вузов. Физика=Russian Physics Journal: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет.— .— Томск: Изд-во ТГУ, 1958-.— 0021-3411 Т. 66, № 4.— 2023.— С. 134-137
Otros Autores:	Вахрушев Д. О. Димитрий Олегович, Гурулев А. В. Александр Валерьевич, Ефимов Д. Д. Дмитрий Давидович, Иванова А. И. Анна Ивановна, Корнева О. С. Ольга Сергеевна
Sumario:	Заглавие с экрана Изучен метод глубокого ионного легирования материалов, основанного на синергии высокоинтенсивной имплантации и энергетического воздействия на поверхность пучка ионов с высокой плотностью мощности субмиллисекундной длительности. Показана возможность получения ионно-легированных слоёв с толщиной от менее 0.1 мкм до более чем 1 мкм в зависимости от флюенса облучения A method of deep ion doping of materials based on the synergy of high-intensity implantation and the energy impact on the surface of an ion beam with a high power density of submillisecond pulse duration are studied. The possibility of obtaining ion-doped layers with a thickness from less than 0.1 µm to more than 1 µm depending on the irradiation fluence is shown Текстовый файл
Lenguaje:	ruso
Publicado:	2023
Materias:	ионная имплантация энергетическое воздействие динамика температурных полей радиационно-стимулированная диффузия глубокое ионное легирование труды учёных ТПУ электронный ресурс
Acceso en línea:	https://www.elibrary.ru/item.asp?id=53325174
Formato:	Electrónico Capítulo de libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=680392

Ejemplares similares

Исследование высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний в условиях энергетического воздействия пучка на поверхность; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 10
Publicado: (2024)

Modification of silicon under synergy of high-intensity implantation of titanium ions and energy influence of a high-power ion beam on a surface; Materials. Technologies. Design; Т. 6, № 1
Publicado: (2024)

Особенности высокоинтенсивной имплантации ионов низкой энергии; Известия вузов. Физика; Т. 63, № 10 (754)
Publicado: (2020)

Уравнения кинетики радиационных дефектов в ГЦК-кристаллах; Приволжский научный вестник; № 5-1 (45)
por: Матвеев М. В. Максим Витальевич
Publicado: (2015)

Радиационно-стимулированная электропроводность высоковольтной керамики при облучении гамма-квантами; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
por: Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Publicado: (2015)

Исследование радиационно-стимулированной диффузии иновалентных примесей в ионных кристаллах; Материалы и технологии ХХI века
Publicado: (2000)

Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11
Publicado: (2022)

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
por: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicado: (2013)

Влияние ионного облучения на свойства пиролитического нитрида бора; Взаимодействие излучений с твердым телом (ВИТТ-2017)
Publicado: (2017)

Ионная имплантация: сборник статей
Publicado: (Москва, Металлургия, 1985)

Влияние параметров ионной имплантации и направления приложения нагрузки на поведение поверхностно-упрочнённых образцов стали 40Х13 при трёхточечном изгибе; Современные техника и технологии; Т. 2
Publicado: (2004)

Микропроцессорные системы управления учебное пособие. рекомендовано учебно-методическим объединением вузов российской федерации по агроинженерному образованию в качестве учебного пособия для студентов, осваивающих образовательные программы бакалавриатапо направлению подготовки «агроинженерия»
por: Кондратьева Н. П.
Publicado: (Ижевск, УдГАУ, 2016)

Современные аспекты применения бетавольтаического эффекта: монография
por: Нагорнов Ю. С. Юрий Сергеевич
Publicado: (Ульяновск, Изд-во УлГПУ, 2012)

Особенности высокоинтенсивной имплантации хрома в сплав Zr1%Nb с использованием импульсно-периодического пучка ионов высокой плотности мощности; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
Publicado: (2024)

Электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 6
por: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicado: (2013)

Метод и измерительная система теплового неразрушающего контроля структурных переходов в полимерных материалах
por: Попов О. Н.
Publicado: (Тамбов, ТГТУ, 2020)

Современные методы исследования электромагнитных и тепловых полей при анализе процесса индукционного нагрева учебно-методическое пособие
por: Долгих И. Ю.
Publicado: (Иваново, ИГЭУ, 2019)

Модифицирование поверхности циркониевого сплава Э110 методом высокоинтенсивной ионной имплантации; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
por: Курочкин А. В.
Publicado: (2019)

Ионная имплантация и лучевая технология: пер. с англ.
Publicado: (Киев, Наукова думка, 1988)

Модификация стали 40Х при высокоинтенсивной имплантации ионов азота; Известия вузов. Физика; Т. 61, № 2
Publicado: (2018)

Ионная имплантация
por: Комаров Ф. Ф. Фадей Фадеевич
Publicado: (Минск, Унiверсiтэцкае, 1994)

Моделирование температурных полей в мишенях при совмещенииимпульсно-периодической высокоинтенсивной имплантации ионов иэнергетическом воздействии на поверхность; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE); International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (16th CMM)
Publicado: (2022)

High-Intensity Implantation of Metal Ions in Conditions of Minimizing Ion Sputtering of the Material Surface; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Publicado: (2019)

Ионно-лучевая обработки внутренней поверхности отверстий из титана высокоинтенсивными пучками ионов алюминия; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE); International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (16th CMM)
Publicado: (2022)

Влияние высокоинтенсивной имплантации ионов азота на структуру и поведение стали 40Х в условиях трения и износа; Физическая мезомеханика; Т. 5, № 1
Publicado: (2002)

Ионное легирование полупроводников (Кремний и германий): пер. с англ.
por: Мейер Дж. Джеймс
Publicado: (Москва, Мир, 1973)

Элионная теория в микро- и наноиндустрии.Ускоренные ионы
por: Кузнецов Г. Д.
Publicado: (Москва, МИСИС, 2012)

High-Frequency Short-Pulsed Metal Plasma-Immersion Ion Implantation Using Filtered DC Vacuum-Arc Plasma (Part II); 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
por: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Publicado: (2004)

High-Frequency Short-Pulsed Metal Plasma-Immersion Ion Implantation Using Filtered DC Vacuum-Arc Plasma (Part I); 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
por: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Publicado: (2004)

Инженерия поверхностей конструкционных материалов с использованием плазменных и пучковых технологий
por: Белый А. В.
Publicado: (Минск, Белорусская наука, 2017)

Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка; Известия вузов. Физика; Т. 50, № 1
Publicado: (2007)

Энергоэффективные конструкции в подземном строительстве учебное пособие
por: Захаров А. В.
Publicado: (Пермь, ПНИПУ, 2012)

Высокоинтенсивная имплантация ионов титана в алюминий в условиях импульсно-периодического энергетического воздействия пучка на поверхность; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
por: Зайцев Д. Д.
Publicado: (2023)

Кремний - материал наноэлектроники: учебное пособие
por: Герасименко Н. Н. Николай Николаевич
Publicado: (Москва, Техносфера, 2007)

Радиационно-индуцированная сегрегация дейтерия в сплаве FeCr и ODS-сталях; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
por: Распопова Г. А.
Publicado: (2011)

Temperature Gradients in the Irradiated Targets During High-Intensity Implantation and Their Influence on Ion-Modified Layer Properties; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Publicado: (2019)

Влияние плазменно-иммерсионной ионной модификации на свойства поверхностных слоёв образцов никелида титана; Материалы и технологии новых поколений в современном материаловедении
Publicado: (2016)

Mass Transfer of an Implanted Dopant in Materials under High-Power Pulsed Ion Beam Impact; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Publicado: (2004)

Влияние ионного облучения на критерии правила Урбаха в оксиде алюминия; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 4
por: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicado: (2008)

Численное моделирование тепловых процессов и влияния нагрева приповерхностных слоев кремния на накопление и диффузию титана при высокоинтенсивной импульсной ионной имплантации; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
por: Иванова А. И. Анна Ивановна
Publicado: (2024)