Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность
| Parent link: | Известия вузов. Физика=Russian Physics Journal: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет.— .— Томск: Изд-во ТГУ, 1958-.— 0021-3411 Т. 66, № 4.— 2023.— С. 134-137 |
|---|---|
| Altres autors: | , , , , |
| Sumari: | Заглавие с экрана Изучен метод глубокого ионного легирования материалов, основанного на синергии высокоинтенсивной имплантации и энергетического воздействия на поверхность пучка ионов с высокой плотностью мощности субмиллисекундной длительности. Показана возможность получения ионно-легированных слоёв с толщиной от менее 0.1 мкм до более чем 1 мкм в зависимости от флюенса облучения A method of deep ion doping of materials based on the synergy of high-intensity implantation and the energy impact on the surface of an ion beam with a high power density of submillisecond pulse duration are studied. The possibility of obtaining ion-doped layers with a thickness from less than 0.1 µm to more than 1 µm depending on the irradiation fluence is shown Текстовый файл |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
2023
|
| Matèries: | |
| Accés en línia: | https://www.elibrary.ru/item.asp?id=53325174 |
| Format: | Electrònic Capítol de llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=680392 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 680392 | ||
| 005 | 20250529162030.0 | ||
| 090 | |a 680392 | ||
| 100 | |a 20250529d2023 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a arcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i |b e | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 183 | 0 | |a cr |2 RDAcarrier | |
| 200 | 1 | |a Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность |d Study of the synergy effects of high-intensity implantation of titanium ions into silicon and the energy impact of the ion beam on the surface |z eng |f Д. О. Вахрушев, А. В. Гурулев, Д. Д. Ефимов [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный |b визуальный | ||
| 283 | |a online_resource |2 RDAcarrier | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a Список литературы: 7 назв | ||
| 330 | |a Изучен метод глубокого ионного легирования материалов, основанного на синергии высокоинтенсивной имплантации и энергетического воздействия на поверхность пучка ионов с высокой плотностью мощности субмиллисекундной длительности. Показана возможность получения ионно-легированных слоёв с толщиной от менее 0.1 мкм до более чем 1 мкм в зависимости от флюенса облучения | ||
| 330 | |a A method of deep ion doping of materials based on the synergy of high-intensity implantation and the energy impact on the surface of an ion beam with a high power density of submillisecond pulse duration are studied. The possibility of obtaining ion-doped layers with a thickness from less than 0.1 µm to more than 1 µm depending on the irradiation fluence is shown | ||
| 336 | |a Текстовый файл | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\191 |9 379770 |t Известия вузов. Физика |l Russian Physics Journal |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет |c Томск |n Изд-во ТГУ |d 1958- |x 0021-3411 | |
| 463 | 1 | |0 590411 |9 590411 |t Т. 66, № 4 |v С. 134-137 |d 2023 | |
| 610 | 1 | |a ионная имплантация | |
| 610 | 1 | |a энергетическое воздействие | |
| 610 | 1 | |a динамика температурных полей | |
| 610 | 1 | |a радиационно-стимулированная диффузия | |
| 610 | 1 | |a глубокое ионное легирование | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 701 | 1 | |a Вахрушев |b Д. О. |c физик |c инженер Томского политехнического университета |f 1998- |g Димитрий Олегович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\47102 |9 22695 | |
| 701 | 1 | |a Гурулев |b А. В. |c физик |c инженер Томского политехнического университета |f 1998- |g Александр Валерьевич |9 88472 | |
| 701 | 1 | |a Ефимов |b Д. Д. |g Дмитрий Давидович | |
| 701 | 1 | |a Иванова |b А. И. |c физик |c младший научный сотрудник Томского политехнического университета |f 1987- |g Анна Ивановна |9 20001 | |
| 701 | 1 | |a Корнева |b О. С. |c физик |c инженер Томского политехнического университета |f 1988- |g Ольга Сергеевна |9 19812 | |
| 801 | 0 | |a RU |b 63413507 |c 20250529 |g RCR | |
| 850 | |a 63413507 | ||
| 856 | 4 | 0 | |u https://www.elibrary.ru/item.asp?id=53325174 |z https://www.elibrary.ru/item.asp?id=53325174 |
| 942 | |c CF | ||