APA ציטוט

Вахрушев Д. О. Димитрий Олегович, Гурулев А. В. Александр Валерьевич, Ефимов Д. Д. Дмитрий Давидович, Иванова А. И. Анна Ивановна, & Корнева О. С. Ольга Сергеевна. (2023). Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 66, № 4. 2023.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Вахрушев Д. О. Димитрий Олегович, Гурулев А. В. Александр Валерьевич, Ефимов Д. Д. Дмитрий Давидович, Иванова А. И. Анна Ивановна, and Корнева О. С. Ольга Сергеевна. Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 66, № 4. 2023, 2023.

ציטוט MLA

Вахрушев Д. О. Димитрий Олегович, et al. Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 66, № 4. 2023, 2023.