Высокоинтенсивная имплантация алюминия в титан с использованием импульсно-периодических пучков высокой плотности мощности; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024) - Рябчиков А. И. Александр Ильич; Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д.; Божко И. А. Ирина Александровна; Корнева О. С. Ольга Сергеевна; Иванова А. И. Анна Ивановна; Дектярев С. В. Сергей Валентинович; Гурулев А. В. Александр Валерьевич (2024, 2024)
В работе изучено влияние высокоинтенсивной имплантации ионов алюминия в сочетании с энергетическим воздействием мощного импульсно-периодического пучка субмиллисекундной длительности на изменение элементного состава, микроструктуры и свойств титана. Эксперименты проводились при энергиях ионов алюминия до 60 кэВ. Образцы титана имплантировались в течение часа при средней температуре поверхности до 750 °С и флюенсе облучения до 5·1019 ион/см2 . Энергетическое воздействие осуществлялось мощным ионным пучком с плотностью мощности 33 кВт/см2 . В работе представлены данные об изменении элементного состава, морфологии поверхности и микроструктуры ионнолегированных и энергомодифицированных слоев. Установлено, что синергия высокоинтенсивной имплантации ионов алюминия и энергетического воздействия импульсного пучка позволяет формировать глубокие ионно-легированные слои толщиной более чем на два порядка превышающие проективный пробег ионов в облученный материал