Численное моделирование тепловых процессов и влияния нагрева приповерхностных слоев кремния на накопление и диффузию титана при высокоинтенсивной импульсной ионной имплантации; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)

Численное моделирование тепловых процессов и влияния нагрева приповерхностных слоев кремния на накопление и диффузию титана при высокоинтенсивной импульсной ионной имплантации; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)

Detalles Bibliográficos
Parent link:	Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024).— 2024.— P. 1035-1040
Autor Principal:	Иванова А. И. Анна Ивановна
Outros autores:	Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д.
Summary:	Рассмотрены особенности тепловых процессов и влияние импульсного нагрева приповерхностных слоев кремния на диффузионный перенос в условиях синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана и энергетического воздействия импульснопериодического пучка высокой плотности мощности на поверхность с целью увеличения глубины ионного легирования за счет радиационно-стимулированной диффузии в условиях ограниченного нагрева всего образца. Приведены результаты расчётов пространственновременного распределения температурных полей в кремнии и диффузионного переноса имплантируемой примеси под действием ионных пучков титана субмиллисекундной длительности Текстовый файл
Idioma:	ruso
Publicado:	2024
Subjects:	математическое моделирование температурные градиенты низкоэнергетический ион высокоинтенсивная имплантация диффузия кремний электронный ресурс труды учёных ТПУ
Acceso en liña:	https://hcei.tsc.ru/files/ru/nauka/conference/efre-2024/C3-P-032804.pdf https://efre.ru/download/EFRE-2024-Abstracts.pdf#page=322
Formato:	Electrónico Capítulo de libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=678383

Títulos similares

Особенности высокоинтенсивной имплантации хрома в сплав Zr1%Nb с использованием импульсно-периодического пучка ионов высокой плотности мощности; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
Publicado: (2024)

Влияние плотности энергии высокоинтенсивного пучка ионов титана на накопление и диффузию в кремнии; Физика и техника полупроводников; Т. 59, вып. 3
Publicado: (2025)

Модификация стали AISI 420 импульсно-периодическим энергетическим воздействием пучка на поверхность с одновременной имплантацией ионов титана; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
Publicado: (2024)

Высокоинтенсивная имплантация алюминия в титан с использованием импульсно-периодических пучков высокой плотности мощности; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
Publicado: (2024)

Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11
Publicado: (2022)

Моделирование температурных полей в мишенях при совмещенииимпульсно-периодической высокоинтенсивной имплантации ионов иэнергетическом воздействии на поверхность; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE); International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (16th CMM)
Publicado: (2022)

Моделирование температурных полей в металлах и сплавах при энергетическом воздействии ионных пучков высокой импульсной мощности субмиллисекундной длительности; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
por: Рябчиков А. И. Александр Ильич
Publicado: (2024)

Дислокацинные структуры приповерхностных слоев чистых металлов после ионной имплантации; Поверхность. Физика, химия, механика; № 3
Publicado: (1989)

Формирование интерметаллидных слоев при высокоинтенсивной ионной имплантации; 6 Белорусско-Польский симпозиум "Вакуумная техника и технологии"
Publicado: (2001)

Основы электрохимии: учебное пособие
por: Байрамов В. М. Вадим Михайлович
Publicado: (Москва, Академия, 2005)

Control over Hard X-Ray Parameters Using External Temperature Gradient; Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science; Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014)
Publicado: (2015)

Оборудование ионной имплантации
Publicado: (Москва, Радио и связь, 1988)

Электрохимия: учебник
por: Дамаскин Б. Б. Борис Борисович
Publicado: (Москва, КолосС, 2006)

Модифицирование поверхности циркониевого сплава Э110 методом высокоинтенсивной ионной имплантации; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
por: Курочкин А. В.
Publicado: (2019)

Влияние высокоинтенсивной имплантации ионов титана на структурно-фазовое состояние поверхностных слоев никеля; Перспективы развития фундаментальных наук
por: Калашников М. П. Марк Петрович
Publicado: (2006)

Действие ионной обработки на электрическую проводимость приповерхностных слоев оксидных поликристаллических полупроводников; Системы. Методы. Технологии; № 1 (21)
por: Франгульян Т. С. Тамара Семёновна
Publicado: (2014)

Изменение элементного состава, морфологии и микроструктуры алюминия после ионной имплантации с одновременным энергетическим воздействием на поверхность; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
Publicado: (2024)

Радиационно-химическое разложение нитрата бария; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
Publicado: (2011)

Электрохимия: учебное пособие
por: Дамаскин Б. Б. Борис Борисович
Publicado: (Санкт-Петербург, Лань, 2015)

Электрохимия: учебник
por: Дамаскин Б. Б. Борис Борисович
Publicado: (Москва, КолосС, 2008)

Формирование интерметаллидных слоев методом высокоинтенсивной ионной имплантации. Ч. 2. Микроструктура и фазовый состав; 6th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: 23-28 September, 2002, Tomsk, Russia
Publicado: (2002)

Электронно-микроскопические исследования микроструктуры поликристаллического железа после импульсной ионной имплантации углеродом; Радиационные дефекты в металлах
Publicado: (1988)

Повышение стойкости инструмента методом ионной имплантации
por: Брюхов В. В.
Publicado: (Томск, Изд-во НТЛ, 2003)

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
por: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicado: (2013)

Рентгеновская структурная диагностика в исследовании приповерхностных слоев монокристаллов
por: Афанасьев А. М. Александр Михайлович
Publicado: (Москва, Наука, 1986)

Temperature Gradients in the Targets During High-Intensity Implantation in Forced Cooling; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2020 online)
Publicado: (2020)

Модификация поверхностных слоёв титана при ионной имплантации алюминия; Радиационная физика и химия неорганических материалов. РФХ - 2003
Publicado: (2003)

Оптимальный противоток в центрифуге с неоднородным транзитным потоком; Атомная энергия; Т. 94, вып. 3
por: Токманцев В. И.
Publicado: (2003)

Blind Separation of Abdominal Electrocardiogram Sources through Dynamic Neural Network; Advances in Computer Science Research; Vol. 51 : Information Technologies in Science, Management, Social Sphere and Medicine (ITSMSSM 2016)
por: Devyatykh D. V. Dmitry Vladimirovich
Publicado: (2016)

Т. 4; Органическая химия
Publicado: (1984)

Формирование интерметаллидных слоев методом высокоинтенсивной ионной имплантации. Ч. 1. Элементный состав и макроскопические характеристики титана, имплантированного алюминием; 6th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: 23-28 September, 2002, Tomsk, Russia
Publicado: (2002)

Исследование технологических особенностей и моделирование новой методики ионной имплантации из импульсной лазерной плазмы; Справочник. Инженерный журнал; № 3
Publicado: (2005)

Изготовление слоев изотопически чистых актиноидных элементов на различных подложках методом ионной имплантации; Изотопы: технологии, материалы и применение
Publicado: (2017)

Focusing of X-Rays inside a single crystal under the temperature gradient; Journal of Contemporary Physics (Armenian Academy of Sciences); Vol. 52, iss. 3
Publicado: (2017)

Особенности высокоинтенсивной имплантации ионов низкой энергии; Известия вузов. Физика; Т. 63, № 10 (754)
Publicado: (2020)

Влияние водоотбора на характеристики качества подземных вод в условиях северо-восточной части Колывань-Томской складчатой зоны; Проблемы геологии и освоения недр
por: Заморовская Л. В.
Publicado: (2007)

Т. 1: Статистическая теория; Физика простых жидкостей
Publicado: (1971)

Effect of temperature gradient on parametric X-Ray radiation. Status of experiment; RREPS-15. Radiation from Relativistic Electrons in Periodic Structures
Publicado: (2015)

Формирование в оболочках твэлов градиента концентрации водорода и гидридов по толщине стенки; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
por: Кудияров В. Н. Виктор Николаевич
Publicado: (2015)

Взаимодействие и накопление водорода в циркониевом сплаве, подвергнутом плазменно-иммерсионной ионной имплантации титана; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
por: Захарченко С. А.
Publicado: (2018)