Численное моделирование тепловых процессов и влияния нагрева приповерхностных слоев кремния на накопление и диффузию титана при высокоинтенсивной импульсной ионной имплантации; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)

Численное моделирование тепловых процессов и влияния нагрева приповерхностных слоев кремния на накопление и диффузию титана при высокоинтенсивной импульсной ионной имплантации; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)

Bibliographic Details
Parent link:	Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024).— 2024.— P. 1035-1040
Main Author:	Иванова А. И. Анна Ивановна
Other Authors:	Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д.
Summary:	Рассмотрены особенности тепловых процессов и влияние импульсного нагрева приповерхностных слоев кремния на диффузионный перенос в условиях синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана и энергетического воздействия импульснопериодического пучка высокой плотности мощности на поверхность с целью увеличения глубины ионного легирования за счет радиационно-стимулированной диффузии в условиях ограниченного нагрева всего образца. Приведены результаты расчётов пространственновременного распределения температурных полей в кремнии и диффузионного переноса имплантируемой примеси под действием ионных пучков титана субмиллисекундной длительности Текстовый файл
Language:	Russian
Published:	2024
Subjects:	математическое моделирование температурные градиенты низкоэнергетический ион высокоинтенсивная имплантация диффузия кремний электронный ресурс труды учёных ТПУ
Online Access:	https://hcei.tsc.ru/files/ru/nauka/conference/efre-2024/C3-P-032804.pdf https://efre.ru/download/EFRE-2024-Abstracts.pdf#page=322
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=678383

Similar Items

Особенности высокоинтенсивной имплантации хрома в сплав Zr1%Nb с использованием импульсно-периодического пучка ионов высокой плотности мощности; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
Published: (2024)

Влияние плотности энергии высокоинтенсивного пучка ионов титана на накопление и диффузию в кремнии; Физика и техника полупроводников; Т. 59, вып. 3
Published: (2025)

Моделирование температурных полей в мишенях при совмещенииимпульсно-периодической высокоинтенсивной имплантации ионов иэнергетическом воздействии на поверхность; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE); International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (16th CMM)
Published: (2022)

Модификация стали AISI 420 импульсно-периодическим энергетическим воздействием пучка на поверхность с одновременной имплантацией ионов титана; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
Published: (2024)

Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11
Published: (2022)

Высокоинтенсивная имплантация алюминия в титан с использованием импульсно-периодических пучков высокой плотности мощности; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
Published: (2024)

Моделирование температурных полей в металлах и сплавах при энергетическом воздействии ионных пучков высокой импульсной мощности субмиллисекундной длительности; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
by: Рябчиков А. И. Александр Ильич
Published: (2024)

Формирование интерметаллидных слоев при высокоинтенсивной ионной имплантации; 6 Белорусско-Польский симпозиум "Вакуумная техника и технологии"
Published: (2001)

Дислокацинные структуры приповерхностных слоев чистых металлов после ионной имплантации; Поверхность. Физика, химия, механика; № 3
Published: (1989)

Control over Hard X-Ray Parameters Using External Temperature Gradient; Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science; Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014)
Published: (2015)

Temperature Gradients in the Targets During High-Intensity Implantation in Forced Cooling; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2020 online)
Published: (2020)

Теоретико-методические основы спортивно-оздоровительных занятий с детьми
by: Башта Л. Ю.
Published: (Омск, СибГУФК, 2019)

Оборудование ионной имплантации
Published: (Москва, Радио и связь, 1988)

Основы электрохимии: учебное пособие
by: Байрамов В. М. Вадим Михайлович
Published: (Москва, Академия, 2005)

Электрохимия: учебник
by: Дамаскин Б. Б. Борис Борисович
Published: (Москва, КолосС, 2006)

Модифицирование поверхности циркониевого сплава Э110 методом высокоинтенсивной ионной имплантации; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Курочкин А. В.
Published: (2019)

Влияние высокоинтенсивной имплантации ионов титана на структурно-фазовое состояние поверхностных слоев никеля; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Калашников М. П. Марк Петрович
Published: (2006)

Blind Separation of Abdominal Electrocardiogram Sources through Dynamic Neural Network; Advances in Computer Science Research; Vol. 51 : Information Technologies in Science, Management, Social Sphere and Medicine (ITSMSSM 2016)
by: Devyatykh D. V. Dmitry Vladimirovich
Published: (2016)

Оптимальный противоток в центрифуге с неоднородным транзитным потоком; Атомная энергия; Т. 94, вып. 3
by: Токманцев В. И.
Published: (2003)

Focusing of X-Rays inside a single crystal under the temperature gradient; Journal of Contemporary Physics (Armenian Academy of Sciences); Vol. 52, iss. 3
Published: (2017)

Действие ионной обработки на электрическую проводимость приповерхностных слоев оксидных поликристаллических полупроводников; Системы. Методы. Технологии; № 1 (21)
by: Франгульян Т. С. Тамара Семёновна
Published: (2014)

Электрохимия: учебное пособие
by: Дамаскин Б. Б. Борис Борисович
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2015)

Электрохимия: учебник
by: Дамаскин Б. Б. Борис Борисович
Published: (Москва, КолосС, 2008)

Формирование в оболочках твэлов градиента концентрации водорода и гидридов по толщине стенки; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
by: Кудияров В. Н. Виктор Николаевич
Published: (2015)

Effect of temperature gradient on parametric X-Ray radiation. Status of experiment; RREPS-15. Radiation from Relativistic Electrons in Periodic Structures
Published: (2015)

Радиационно-химическое разложение нитрата бария; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
Published: (2011)

Повышение стойкости инструмента методом ионной имплантации
by: Брюхов В. В.
Published: (Томск, Изд-во НТЛ, 2003)

Управление параметрами жесткого рентгеновского излучения при внешнем температурном градиенте; Физико-технические проблемы атомной науки, энергетики и промышленности
Published: (2014)

Аналогия Рейнольдса и закон стенки в низкотермическом пограничном слое при направленном вдуве и и положительном градиенте давления; Известия вузов. Энергетика; № 1
Published: (1986)

Дифракция жесткого рентгеновского излучения в монокристаллах кварца при наличии температурного градиента; Известия Национальной академии наук Армении. Физика; Т. 52, № 4
by: Кочарян В. Р. Ваган Рашидович
Published: (2017)

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
by: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Published: (2013)

Формирование интерметаллидных слоев методом высокоинтенсивной ионной имплантации. Ч. 2. Микроструктура и фазовый состав; 6th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: 23-28 September, 2002, Tomsk, Russia
Published: (2002)

Влияние температурного градиента на спектр дифрагированного рентгеновского излучения в кристалле кварца; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
Published: (2015)

Влияние температурного градиента на спектр дифрагированного рентгеновского излучения в кристалле кварца; Современные техника и технологии; Т. 2
Published: (2015)

Gashydrate; Язык и мировая культура: взгляд молодых исследователей; Ч. 3
by: Бексыргаев Б. Ж.
Published: (2016)

Влияние температурного градиента на спектр дифрагированного рентгеновского излучения в кристалле кварца; Современные проблемы физики и технологий; Ч. 1
Published: (2015)

Influence of temperature gradient on diffracted X-ray spectrum in quartz crystal; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
Published: (2016)

Комплексные (координационные) соединения учебно-методическое пособие
by: Гаджиев О. Б.
Published: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2016)

Рентгеновская структурная диагностика в исследовании приповерхностных слоев монокристаллов
by: Афанасьев А. М. Александр Михайлович
Published: (Москва, Наука, 1986)

Электронно-микроскопические исследования микроструктуры поликристаллического железа после импульсной ионной имплантации углеродом; Радиационные дефекты в металлах
Published: (1988)