Численное моделирование тепловых процессов и влияния нагрева приповерхностных слоев кремния на накопление и диффузию титана при высокоинтенсивной импульсной ионной имплантации
| Parent link: | Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024): Proceedings of 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024), Tomsk, September 16-21, 2024. P. 1035-1040.— .— Tomsk: Academizdat Publishing, 2024.— https://hcei.tsc.ru/ru/nauka/conference/efre-2024.html |
|---|---|
| Hlavní autor: | |
| Další autoři: | , |
| Shrnutí: | Рассмотрены особенности тепловых процессов и влияние импульсного нагрева приповерхностных слоев кремния на диффузионный перенос в условиях синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана и энергетического воздействия импульснопериодического пучка высокой плотности мощности на поверхность с целью увеличения глубины ионного легирования за счет радиационно-стимулированной диффузии в условиях ограниченного нагрева всего образца. Приведены результаты расчётов пространственновременного распределения температурных полей в кремнии и диффузионного переноса имплантируемой примеси под действием ионных пучков титана субмиллисекундной длительности Текстовый файл |
| Vydáno: |
2024
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | https://hcei.tsc.ru/files/ru/nauka/conference/efre-2024/C3-P-032804.pdf https://efre.ru/download/EFRE-2024-Abstracts.pdf#page=322 |
| Médium: | Elektronický zdroj Kapitola |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=678383 |
| Shrnutí: | Рассмотрены особенности тепловых процессов и влияние импульсного нагрева приповерхностных слоев кремния на диффузионный перенос в условиях синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана и энергетического воздействия импульснопериодического пучка высокой плотности мощности на поверхность с целью увеличения глубины ионного легирования за счет радиационно-стимулированной диффузии в условиях ограниченного нагрева всего образца. Приведены результаты расчётов пространственновременного распределения температурных полей в кремнии и диффузионного переноса имплантируемой примеси под действием ионных пучков титана субмиллисекундной длительности Текстовый файл |
|---|