Иванова А. И. Анна Ивановна, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, & Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д. (2024). Численное моделирование тепловых процессов и влияния нагрева приповерхностных слоев кремния на накопление и диффузию титана при высокоинтенсивной импульсной ионной имплантации; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024). 2024.
Cita Chicago (17th ed.)Иванова А. И. Анна Ивановна, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, i Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д. Численное моделирование тепловых процессов и влияния нагрева приповерхностных слоев кремния на накопление и диффузию титана при высокоинтенсивной импульсной ионной имплантации; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024). 2024, 2024.
Cita MLA (9th ed.)Иванова А. И. Анна Ивановна, et al. Численное моделирование тепловых процессов и влияния нагрева приповерхностных слоев кремния на накопление и диффузию титана при высокоинтенсивной импульсной ионной имплантации; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024). 2024, 2024.