Иванова А. И. Анна Ивановна, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, & Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д. (2024). Численное моделирование тепловых процессов и влияния нагрева приповерхностных слоев кремния на накопление и диффузию титана при высокоинтенсивной импульсной ионной имплантации. 2024.
Citação norma ChicagoИванова А. И. Анна Ивановна, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, and Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д. Численное моделирование тепловых процессов и влияния нагрева приповерхностных слоев кремния на накопление и диффузию титана при высокоинтенсивной импульсной ионной имплантации. 2024, 2024.
Citação norma MLAИванова А. И. Анна Ивановна, et al. Численное моделирование тепловых процессов и влияния нагрева приповерхностных слоев кремния на накопление и диффузию титана при высокоинтенсивной импульсной ионной имплантации. 2024, 2024.