Численное моделирование диффузионных процессов в кремнии при импульсно-периодическом воздействии пучка ионов титана высокой плотности мощности; Физические и физико-химические основы ионной имплантации - Иванова А. И. Анна Ивановна; Блейхер Г. А. Галина Алексеевна; Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д.; Корнева О. С. Ольга Сергеевна (2024, 2024)
Заглавие с экрана