Исследование процесса напыления DLC покрытий с помощью импульсно-дугового испарителя

Bibliographic Details
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XXI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2024 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; под ред. И. А. Курзиной [и др.].— .— Томск: Изд-во ТПУ
Т. 1 : Физика.— 2024.— С. 112-114
Main Author: Гавриленко А. В.
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (570)
Other Authors: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич (727)
Summary:Заглавие с экрана
The article discusses the process of applying a DLC coating using a pulsed arc evaporator, as well as the effect of the electrical characteristics of the pulsed arc on the properties of the resulting DLC coatings. It is shown that, with an increase in the storage voltage, the current strength increases. However, the pulse frequency has little effect on the current strength and shape of the graph. After a series of depositions of DLC coatings under different operating conditions, it was found that a coating obtained at 200V storage voltage and 2Hz pulse frequency had greater hardness and flexibility, respectively: 68.8 ± 8.1GPa and 511 ± 66GPa
Текстовый файл
Language:Russian
Published: 2024
Subjects:
Online Access:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80560
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=674399

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 674399
005 20241007153107.0
090 |a 674399 
100 |a 20240906d2024 k||y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
135 |a drcn ---uucaa 
200 1 |a Исследование процесса напыления DLC покрытий с помощью импульсно-дугового испарителя  |d Investigation of the process of spraying DLC coatings using a pulsed arc evaporator  |f А. В. Гавриленко  |g науч. рук. Ю. Н. Юрьев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет  |z eng 
300 |a Заглавие с экрана 
320 |a Список литературы: 3 назв. 
330 |a The article discusses the process of applying a DLC coating using a pulsed arc evaporator, as well as the effect of the electrical characteristics of the pulsed arc on the properties of the resulting DLC coatings. It is shown that, with an increase in the storage voltage, the current strength increases. However, the pulse frequency has little effect on the current strength and shape of the graph. After a series of depositions of DLC coatings under different operating conditions, it was found that a coating obtained at 200V storage voltage and 2Hz pulse frequency had greater hardness and flexibility, respectively: 68.8 ± 8.1GPa and 511 ± 66GPa 
336 |a Текстовый файл 
461 1 |0 674010  |t Перспективы развития фундаментальных наук  |l Prospects of Fundamental Sciences Development  |o сборник научных трудов XXI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2024 г.  |9 674010  |c Томск  |n Изд-во ТПУ  |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; под ред. И. А. Курзиной [и др.] 
463 1 |0 674235  |t Т. 1 : Физика  |v С. 112-114  |d 2024  |9 674235  |p 1 файл (66,9 MB, 392 с.)  |u conference_tpu-2024-C21_V1.pdf  |l Vol. 1 : Physics 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a электронный ресурс 
610 1 |a DLC покрытия 
610 1 |a импульсно-дуговой испаритель 
610 1 |a ионный источник 
610 1 |a углеродная мишень 
610 1 |a электрические характеристики 
700 1 |a Гавриленко  |b А. В.  
702 1 |a Юрьев  |b Ю. Н.  |c специалист в области водородной энергетики  |c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник  |f 1984-  |g Юрий Николаевич  |4 727 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет  |c (2009- )  |9 26305  |4 570 
801 0 |a RU  |b 63413507  |c 20240906  |g RCR 
856 4 |z http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80560  |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80560 
942 |c CF