Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Курзина, И. А. (химик ; 1972-). Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г..— .— Томск: Изд-во ТПУ, 2023 Т. 1 : Физика.— 2023.— С. 291-293
Hovedforfatter:	Осипова Е. С.
Institution som forfatter:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение экспериментальной физики
Andre forfattere:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович (научный руководитель)
Summary:	Заглавие с экрана The article describes influence of flow rate of reactive gas (nitrogen) on deposition rate of CrAlN coatings and its structural properties in the case of magnetron sputtering of "hot" Cr and Al targets using a radio-frequency plasma source (RF-ICP). It is shown that the increase in the flow rate of nitrogen leads to the increase in hardness of deposited coatings due to formation of the nitride phases of CrN and AlN Текстовый файл
Sprog:	russisk
Udgivet:	2023
Fag:	труды учёных ТПУ электронный ресурс микротвёрдость термостойкость защитные покрытия скорость осаждения реактивные газы магнетронное распыление аргон азот плазменный генератор
Online adgang:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80820
Format:	Electronisk Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=673433

Lignende værker

Влияние параметров магнетроного осаждения на стехиометрию покрытий оксида меди, полученных в металлическом режиме; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
af: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
Udgivet: (2023)

Свойства пленок двуокиси кремния, полученных электронно - плазменным методом: Отчет о НИР; Тема : № х/д № 113/67
Udgivet: (Томск, 1970)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
af: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Udgivet: (Москва, Техносфера, 2014)

Ускоритель электронов с многоапертурным плазменным эмиттером; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 11-3
Udgivet: (2014)

Nanostructuring and Physical Properties of Metal-Ceramic Composites With a Different Content the Ceramic Components; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 125 : Materials Treatment: Current Problems and Solutions
Udgivet: (2016)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением справочное пособие
af: Берлин Е. В.
Udgivet: (Москва, Техносфера, 2014)

Исследование возможности нанесения покрытий на уплотнительные соединения ионно-плазменным методом; Современные проблемы машиностроения
af: Филиппов Д. М.
Udgivet: (2024)

Особенности структуры покрытий системы Al-Ni, полученных воздушно-плазменным напылением; Современные технологии и материалы новых поколений
af: Рубцова О. А.
Udgivet: (2017)

Источник электронов с сетчатым плазменным эмиттером для генерации интенсивного пучка субмиллисекундной длительности; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 11-3
Udgivet: (2014)

Утилизация рафинатов переработанного отработавшего ядерного топливо воздушно-плазменным способом; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 2
af: Туксов И. В.
Udgivet: (2023)

Исследование структуры и свойств нанопорошка SiO2, полученного плазменным методом и природных высококремнеземистых сырьевых материалов; Известия вузов. Физика; Т. 60, № 2
af: Космачев П. В. Павел Владимирович
Udgivet: (2017)

Радиационно-термическая стойкость четырехокиси азота
Udgivet: (Минск, Наука и техника, 1985)

Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук
af: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Udgivet: (2012)

Элементно-фазовый состав YAG:Ce покрытий, полученных при высокоскоростном магнетронном осаждении; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
af: Рунц А. А.
Udgivet: (2024)

Анализ морфологии поверхности и оптических свойств пленок сульфида олова, полученных DC-магнетронным распылением; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
af: Дронова М. В.
Udgivet: (2015)

Современные био-, бензо-, дизель-генераторы и другие полезные конструкции
af: Кашкаров А. П.
Udgivet: (Москва, ДМК Пресс, 2011)

Сравнительный анализ свойств покрытий на основе углерода, полученных различными PVD и CVD методами осаждения; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине (ФТПНПМ-2019)
Udgivet: (2019)

Увеличение термоциклической стойкости покрытий на основе Zr-Y-O, полученных методом магнетронного осаждения; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 317, № 2: Математика и механика. Физика
Udgivet: (2010)

Электрический пробой и электролюминесценция пленок ZnS:Mn, полученных высокочастотным магнетронным распылением: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
af: Жигальский А. А. Александр Анатольевич
Udgivet: (Томск, Изд-во ТГУСУиР, 1997)

Влияние объемного наносекудного разряда в атмосферах воздуха, аргона и азота атмосферного давления на электрофизические свойства узкозонных твердых растворов CdHgTe; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 1
af: Григорьев Д. В.
Udgivet: (2013)

Термопрочность тугоплавких материалов, полученных газофазным осаждением: [монография]
af: Хусаинов М. А. Михаил Андреевич
Udgivet: (Ленинград, Изд-во Ленинградского ун-та, 1979)

Исследование молекулярного и элементного состава покрытий, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
af: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Udgivet: (2009)

Электрический пробой и электролюминесценция пленок ZnS:Mn, полученных высокочастотным магнетронным распылением: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
af: Жигальский А. А. Александр Анатольевич
Udgivet: (Томск, Изд-во ТУСУР, 1997)

Broad beam electron sources with plasma cathodes; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment; Vol. 321, № 3
Udgivet: (1992)

Термостойкие полимеры
af: Коршак В. В. Василий Владимирович
Udgivet: (Москва, Наука, 1969)

Структура железоникелевых сплавов, полученных методом инжекционного формования; Современные проблемы машиностроения
af: Абдульменова Е. В. Екатерина Владимировна
Udgivet: (2021)

Вспомогательные процессы лаб. практикум
af: Николаев А. А.
Udgivet: (Москва, МИСИС, 2019)

Характеристики нанопорошков, полученных путём электровзрывного испарения лужёных медных проводников в инертной газовой среде; Современные техника и технологии; Т. 3
af: Синкин С. А.
Udgivet: (2010)

Газы, газовые смеси, криогенные жидкости: номенклатурный каталог
Udgivet: (Черкассы, НИИТЭХИМ, 1984)

Generation of runaway electrons beams during the breakdown of high-pressure gases; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 927 : The Physics of Low Temperature Plasma (PLTP-2017)
af: Tarasenko V. F. Victor Fedotovich
Udgivet: (2017)

Устройство для измерения теплопроводности полупроводников и их расплавов при высоких температурах; Приборы и техника эксперимента; № 4
af: Магомедов Я. Б.
Udgivet: (2004)

Структурные особенности композиционных материалов, полученных методом сварки взрывом; Современные техника и технологии; Т. 2
af: Руктуев А. А.
Udgivet: (2010)

Effect of intensified emission during the generation of a submillisecond low-energy electron beam in a plasma-cathode diode; IEEE Transactions on Plasma Science; Vol. 37, iss. 10
Udgivet: (2009)

Low-threshold gas lasers pumped by plasma-cathode accelerators; Laser Physics; Vol. 16, iss. 1
Udgivet: (2006)

Получение из каменных углей связующих для термостойких изделий повышенной прочности; Химия и химическая технология на рубеже тысячелетий
Udgivet: (2004)

Особенности электродинамики высокочастотного факельного разряда, горящего в аргоне; Физическая электроника: ФЭ 2016
af: Луценко Ю. Ю. Юрий Юрьевич
Udgivet: (2016)

Высокотемпературное поглощение примесей кислорода в аргоне диоксидом титана, активированным в щелочной и кислой средах; Международный журнал прикладных и фундаментальных исследований; № 8, ч. 4
af: Смирнова В. В. Валентина Владимировна
Udgivet: (2015)

Методика определения распределения диаметров пор в тонких металлических плёнках; Приборы и техника эксперимента; № 1
af: Четвериков Н. И.
Udgivet: (2003)

Structural modification in a re-heated bead-overlapping zone of the multiple-pass plasma-transferred arc Fe-Cr-V-Mo-C coating; Surface and Coatings Technology; Vol. 329
af: Degterev A. S. Aleksandr Sergeevich
Udgivet: (2017)

Проектирование оборудования предприятий строительной индустрии
af: Некрасов В. А.
Udgivet: (Санкт-Петербург, Лань, 2022)