Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
| Parent link: | Курзина, И. А. (химик ; 1972-). Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г..— .— Томск: Изд-во ТПУ, 2023 Т. 1 : Физика.— 2023.— С. 291-293 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | |
| Summary: | Заглавие с экрана The article describes influence of flow rate of reactive gas (nitrogen) on deposition rate of CrAlN coatings and its structural properties in the case of magnetron sputtering of "hot" Cr and Al targets using a radio-frequency plasma source (RF-ICP). It is shown that the increase in the flow rate of nitrogen leads to the increase in hardness of deposited coatings due to formation of the nitride phases of CrN and AlN Текстовый файл |
| Language: | Russian |
| Published: |
2023
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80820 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=673433 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 673433 | ||
| 005 | 20260209150816.0 | ||
| 090 | |a 673433 | ||
| 100 | |a 20240627d2023 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 200 | 1 | |a Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием |f Е. С. Осипова, Д. В. Сиделёв |g науч. рук. Д. В. Сиделёв ; Инженерная школа ядерных технологий НИ ТПУ |d Influence of nitrogen flow on properties of CrAlN coatings obtained by magnetron sputtering with plasma assisted |z eng | |
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a Библиография: с. 293 | ||
| 330 | |a The article describes influence of flow rate of reactive gas (nitrogen) on deposition rate of CrAlN coatings and its structural properties in the case of magnetron sputtering of "hot" Cr and Al targets using a radio-frequency plasma source (RF-ICP). It is shown that the increase in the flow rate of nitrogen leads to the increase in hardness of deposited coatings due to formation of the nitride phases of CrN and AlN | ||
| 336 | |a Текстовый файл | ||
| 461 | 1 | |0 636133 |t Перспективы развития фундаментальных наук |l Prospects of Fundamental Sciences Development |o сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г. |d 2023 |9 636133 |a Курзина, И. А. (химик ; 1972-) |c Томск |n Изд-во ТПУ | |
| 463 | 1 | |0 669915 |t Т. 1 : Физика |v С. 291-293 |d 2023 |9 669915 |p 1 файл (75,9 MB, 442 с.) |u conference_tpu-2023-C21_V1.pdf |l Volume 1. Physics | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a микротвёрдость | |
| 610 | 1 | |a термостойкость | |
| 610 | 1 | |a защитные покрытия | |
| 610 | 1 | |a скорость осаждения | |
| 610 | 1 | |a реактивные газы | |
| 610 | 1 | |a магнетронное распыление | |
| 610 | 1 | |a аргон | |
| 610 | 1 | |a азот | |
| 610 | 1 | |a плазменный генератор | |
| 700 | 1 | |a Осипова |b Е. С. | |
| 701 | 1 | |a Сиделёв |b Д. В. |c физик |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук |f 1991- |g Дмитрий Владимирович |y Томск |9 17891 | |
| 702 | 1 | |a Сиделёв |b Д. В. |c физик |c инженер кафедры Томского политехнического университета |f 1991- |g Дмитрий Владимирович |4 727 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Инженерная школа ядерных технологий |b Отделение экспериментальной физики |9 28346 |
| 801 | 0 | |a RU |b 63413507 |c 20240627 |g RCR | |
| 856 | 4 | |z http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80820 |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80820 | |
| 942 | |c CF | ||