Осипова Е. С. & Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович. (2023). Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1: Физика. 2023.
Cita Chicago (17th ed.)Осипова Е. С. i Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович. Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1: Физика. 2023, 2023.
Cita MLA (9th ed.)Осипова Е. С. i Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович. Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1: Физика. 2023, 2023.
Atenció: Aquestes cites poden no estar 100% correctes.