Моделирование процесса магнетронного осаждения хрома при планетарном вращении подложки; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Моделирование процесса магнетронного осаждения хрома при планетарном вращении подложки; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

書目詳細資料
Parent link:	Курзина, И. А. (химик ; 1972-). Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г..— .— Томск: Изд-во ТПУ, 2023 Т. 1 : Физика.— 2023.— С. 288-290
主要作者:	Оруджов Э. Э.
企業作者:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение экспериментальной физики
其他作者:	Блейхер Г. А. Галина Алексеевна (научный руководитель)
總結:	Заглавие с экрана The present work investigates the method of simulating magnetron sputtering processes in the case of deposition of chromium coatings. The change in the angle and the distance between the substrate and magnetron target has its impact on the deposition rate and the energy transfer from deposition flux onto the surface of the substrate. This may result in differences in chromium coatings structure. The model was created to simulate the rotational motion of the substrate inside a magnetron sputtering system. The relations between deposition rate and various geometry of the system were found. The experimental verification is to be carried out Текстовый файл
語言:	俄语
出版:	2023
主題:	труды учёных ТПУ электронный ресурс процессы осаждения численные методы закон Ламберта-Кнудсена ионный ток хром математическая модель динамическая система магнетронное распыление
在線閱讀:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80819
格式:	電子 Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=673430

相似書籍

Элементно-фазовый состав YAG:Ce покрытий, полученных при высокоскоростном магнетронном осаждении; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
由: Рунц А. А. Артем Алексеевич
出版: (2024)

Формирование градиентного слоя хром-цирконий с помощью магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
由: Ромбаева М. Р.
出版: (2019)

Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
由: Осипова Е. С.
出版: (2023)

Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
由: Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович
出版: (2014)

High-rate magnetron sputtering with hot target; Surface and Coatings Technology; Vol. 308 : The 43rd International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films
出版: (2016)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
由: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
出版: (Томск, 2018)

Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
由: Шпакова Н. Ю.
出版: (2009)

Теоретическая фотометрия
由: Сапожников Р. А. Ростислав Алексеевич
出版: (Ленинград, Энергия, 1967)

Теоретическая фотометрия
由: Сапожников Р. А. Ростислав Алексеевич
出版: (Ленинград, Энергия, 1977)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
由: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
出版: (Томск, 2018)

Численное исследование процесса радиационного нагрева замкнутой прямоугольной области с учетом распределения лучистой энергии по закону Ламберта; Современные техника и технологии; Т. 3
由: Ни А. Э. Александр Эдуардович
出版: (2014)

Электрический потенциал тонкого биоактивного покрытия на основе цинк-замещенного гидроксиапатита, полученного на титане методом ВЧ магнетронного распыления; Современные технологии и материалы новых поколений
由: Просолов К. А. Константин Александрович
出版: (2017)

Nickel and Chromium Deposition by Hot Target Magnetron Sputtering; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
出版: (2019)

Исследование покрытий на основе магний-содержащего гидроксиапатита, полученных методом высокочастотного магнетронного осаждения; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
由: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
出版: (2023)

Влияние материала подложки и режима ВЧ-магнетронного распыления на структуру и свойства покрытий на основе гидроксиапатита; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
出版: (2015)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
由: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
出版: (2014)

Физика. Оптика. Атомная и ядерная физика: Ч. 2 лабораторный практикум
由: Валянский С. И.
出版: (Москва, МИСИС, 2009)

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения
由: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
出版: (2020)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
由: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
出版: (2012)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3
由: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
出版: (2010)

Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 3
出版: (2016)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий; Современные проблемы машиностроения
由: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
出版: (2021)

Осаждение антифрикционных покрытий в плазме магнетронного разряда; Упрочняющие технологии и покрытия; № 4
出版: (2016)

Применение состава остаточных газов в вакуумной камере в процессе осаждения плёнки Ti; Приборы и техника эксперимента; № 3
由: Перекрестов В. И.
出版: (2002)

Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Современные материалы и технологии новых поколений
由: Зелецов Д.
出版: (2019)

Адгезионная прочность ВЧ-магнетронного кремний-содержащего кальций фосфатного покрытия; Перспективы развития фундаментальных наук
由: Иванова Е. С.
出版: (2013)

Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления; Журнал технической физики; Т. 86, вып. 2
出版: (2016)

Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
由: Гаранин Ю. А.
出版: (2022)

Остеогенный потенциал покрытий на основе гидроксиа-патита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
由: Грибенников М. В.
出版: (2013)

Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
由: Андреева М. А.
出版: (2016)

Исследование элементного состава кальций-фосфатных покрытий, нанесённых методом ВЧ-магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
出版: (2008)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
由: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
出版: (2009)

Тепломассообмен в электронно-вычислительной технике. Часть 1 Учебное пособие
由: Зуев А. С.
出版: (Москва, РТУ МИРЭА, 2020)

Радиохимия хрома, мышьяка, кадмия и галогенов: пер. с англ.
出版: (Москва, Мир, 1964)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
由: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
出版: (2009)

Исследование повехностной плотности электрического заряда биосовместимых покрытий полученных методом магнетронного распыления; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
由: Быкова Ю. В. Юлия Владиславовна
出版: (2010)

Исследование скоростей роста медных покрытий при различных методах магнетронного распыления; Высокие технологии в современной науке и технике
出版: (2014)

Модифицирование биорезорбируемых полимерных кровеносных сосудов TISIN покрытиями методом дуального магнетронного распыления; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
由: Лаушкина А. А. Алина Алексеевна
出版: (2023)

Сравнение характеристик твердооксидных топливных элементов с пленочными твердыми электролитами YSZ и CGO, формируемыми методом магнетронного распыления; Электрохимия; Т. 52, № 7
出版: (2016)

Кремнийсодержащее кальций-фосфатное покрытие, сформированное методом ВЧ-магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
由: Сурменева М. А. Мария Александровна
出版: (2010)