Моделирование процесса магнетронного осаждения хрома при планетарном вращении подложки

Моделирование процесса магнетронного осаждения хрома при планетарном вращении подложки

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Курзина, И. А. (химик ; 1972-). Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г..— .— Томск: Изд-во ТПУ, 2023 Т. 1 : Физика.— 2023.— С. 288-290
Hovedforfatter:	Оруджов Э. Э.
Institution som forfatter:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение экспериментальной физики
Andre forfattere:	Блейхер Г. А. Галина Алексеевна (727)
Summary:	Заглавие с экрана The present work investigates the method of simulating magnetron sputtering processes in the case of deposition of chromium coatings. The change in the angle and the distance between the substrate and magnetron target has its impact on the deposition rate and the energy transfer from deposition flux onto the surface of the substrate. This may result in differences in chromium coatings structure. The model was created to simulate the rotational motion of the substrate inside a magnetron sputtering system. The relations between deposition rate and various geometry of the system were found. The experimental verification is to be carried out Текстовый файл
Udgivet:	2023
Fag:	труды учёных ТПУ электронный ресурс процессы осаждения численные методы закон Ламберта-Кнудсена ионный ток хром математическая модель динамическая система магнетронное распыление
Online adgang:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80819
Format:	Electronisk Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=673430

Lignende værker

Формирование градиентного слоя хром-цирконий с помощью магнетронного распыления
af: Ромбаева М. Р.
Udgivet: (2019)

Элементно-фазовый состав YAG:Ce покрытий, полученных при высокоскоростном магнетронном осаждении
af: Рунц А. А.
Udgivet: (2024)

Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием
af: Осипова Е. С.
Udgivet: (2023)

High-rate magnetron sputtering with hot target
Udgivet: (2016)

Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра
af: Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович
Udgivet: (2014)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
af: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Udgivet: (Томск, 2018)

Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления
af: Шпакова Н. Ю.
Udgivet: (2009)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
af: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Udgivet: (Томск, 2018)

Nickel and Chromium Deposition by Hot Target Magnetron Sputtering
Udgivet: (2019)

Влияние материала подложки и режима ВЧ-магнетронного распыления на структуру и свойства покрытий на основе гидроксиапатита
Udgivet: (2015)

Электрический потенциал тонкого биоактивного покрытия на основе цинк-замещенного гидроксиапатита, полученного на титане методом ВЧ магнетронного распыления
af: Просолов К. А. Константин Александрович
Udgivet: (2017)

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома
af: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Udgivet: (2020)

Исследование покрытий на основе магний-содержащего гидроксиапатита, полученных методом высокочастотного магнетронного осаждения
af: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Udgivet: (2023)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана
af: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Udgivet: (2010)

Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления
Udgivet: (2016)

Численное исследование процесса радиационного нагрева замкнутой прямоугольной области с учетом распределения лучистой энергии по закону Ламберта
af: Ни А. Э. Александр Эдуардович
Udgivet: (2014)

Осаждение антифрикционных покрытий в плазме магнетронного разряда
Udgivet: (2016)

Кальцийфосфатные мишени для ВЧ магнетронного распыления биопокрытий
Udgivet: (2019)

Теоретическая фотометрия
af: Сапожников Р. А. Ростислав Алексеевич
Udgivet: (Ленинград, Энергия, 1977)

Применение состава остаточных газов в вакуумной камере в процессе осаждения плёнки Ti
af: Перекрестов В. И.
Udgivet: (2002)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления
af: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Udgivet: (2014)

Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
af: Зелецов Д.
Udgivet: (2019)

Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления
Udgivet: (2016)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления
af: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Udgivet: (2012)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий
af: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Udgivet: (2021)

Исследование скоростей роста медных покрытий при различных методах магнетронного распыления
Udgivet: (2014)

Кремнийсодержащее кальций-фосфатное покрытие, сформированное методом ВЧ-магнетронного распыления
af: Сурменева М. А. Мария Александровна
Udgivet: (2010)

Элементный и фазовый состав кальцийфосфатных мишеней для ВЧ-магнетронного распыления
Udgivet: (2019)

Формирование тонкопленочных слоев твердооксидных топливных элементов методом магнетронного распыления диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук спец. 1.3.8
af: Соловьев А. А. Андрей Александрович
Udgivet: (Томск, 2025)

Остеогенный потенциал покрытий на основе гидроксиа-патита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления
af: Грибенников М. В.
Udgivet: (2013)

Исследование повехностной плотности электрического заряда биосовместимых покрытий полученных методом магнетронного распыления
af: Быкова Ю. В. Юлия Владиславовна
Udgivet: (2010)

Модифицирование биорезорбируемых полимерных кровеносных сосудов TISIN покрытиями методом дуального магнетронного распыления
af: Лаушкина А. А. Алина Алексеевна
Udgivet: (2023)

Формирование тонкопленочных слоев твердооксидных топливных элементов методом магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук спец. 1.3.8
af: Соловьев А. А. Андрей Александрович
Udgivet: (Томск, 2025)

Покрытия, сформированные методом ВЧ-магнетронного распыления мишени из кремнийзамещенного гидроксиапатита
af: Сурменева М. А. Мария Александровна
Udgivet: (2009)

Получение кальцийфосфатных биосовместимых покрытий методом магнетронного распыления и их свойства
Udgivet: (2006)

Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС
af: Андреева М. А.
Udgivet: (2016)

Физика. Оптика. Атомная и ядерная физика: Ч. 2 лабораторный практикум
af: Валянский С. И.
Udgivet: (Москва, МИСИС, 2009)

Адгезионная прочность ВЧ-магнетронного кремний-содержащего кальций фосфатного покрытия
af: Иванова Е. С.
Udgivet: (2013)

Сравнение характеристик твердооксидных топливных элементов с пленочными твердыми электролитами YSZ и CGO, формируемыми методом магнетронного распыления
Udgivet: (2016)

Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N
af: Гаранин Ю. А.
Udgivet: (2022)