Исследование зависимости температуры атмосферы реактивного магнетронного разряда от состава газовой смеси, контролируемого оптической эмиссионной спектроскопией

Исследование зависимости температуры атмосферы реактивного магнетронного разряда от состава газовой смеси, контролируемого оптической эмиссионной спектроскопией

Podrobná bibliografie
Parent link:Курзина, И. А. (химик ; 1972-). Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г..— .— Томск: Изд-во ТПУ, 2023
Т. 1 : Физика.— 2023.— С. 123-125
Hlavní autor: Гавриленко А. В.
Korporativní autor: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение экспериментальной физики
Další autoři: Конищев М. Е. (727), Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Shrnutí:Заглавие с экрана
The article considers the hysteresis of the sputtering process of a titanium target in a reactive environment with oxygen and nitrogen, as well as the effect of the gas mixture on the temperature of the atmosphere of a reactive magnetron discharge. It is shown that the hysteresis loop of the process with nitrogen is practically not observed, in contrast to the situation with oxygen, but in this case, the environment heats up faster in the oxygen medium, which indicates a higher plasma energy
Текстовый файл
Jazyk:ruština
Vydáno: 2023
Témata:
труды учёных ТПУ
электронный ресурс
системы магнетронного распыления
тонкие плёнки
скорость осаждения
процесс напыления
нитрид титана
оксид титана
петля гистерезиса
On-line přístup:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80789
Médium: Elektronický zdroj Kapitola
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=672466

Podobné jednotky

Podobné jednotky