Исследование зависимости температуры атмосферы реактивного магнетронного разряда от состава газовой смеси, контролируемого оптической эмиссионной спектроскопией; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
| Parent link: | Курзина, И. А. (химик ; 1972-). Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г..— .— Томск: Изд-во ТПУ, 2023 Т. 1 : Физика.— 2023.— С. 123-125 |
|---|---|
| 第一著者: | |
| 団体著者: | |
| その他の著者: | , |
| 要約: | Заглавие с экрана The article considers the hysteresis of the sputtering process of a titanium target in a reactive environment with oxygen and nitrogen, as well as the effect of the gas mixture on the temperature of the atmosphere of a reactive magnetron discharge. It is shown that the hysteresis loop of the process with nitrogen is practically not observed, in contrast to the situation with oxygen, but in this case, the environment heats up faster in the oxygen medium, which indicates a higher plasma energy Текстовый файл |
| 言語: | ロシア語 |
| 出版事項: |
2023
|
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80789 |
| フォーマット: | 電子媒体 図書の章 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=672466 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 672466 | ||
| 005 | 20241031143651.0 | ||
| 090 | |a 672466 | ||
| 100 | |a 20240513d2023 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 200 | 1 | |a Исследование зависимости температуры атмосферы реактивного магнетронного разряда от состава газовой смеси, контролируемого оптической эмиссионной спектроскопией |f А. В. Гавриленко, М. Е. Конищев |g науч. рук. М. Е. Конищев ; Инженерная школа ядерных технологий НИ ТПУ |d Research of the dependence of the atmospheric temperature of a reactive magnetron discharge on the composition of a gas mixture controlled by optical emission spectroscopy |z eng | |
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a Библиография: с. 125 | ||
| 330 | |a The article considers the hysteresis of the sputtering process of a titanium target in a reactive environment with oxygen and nitrogen, as well as the effect of the gas mixture on the temperature of the atmosphere of a reactive magnetron discharge. It is shown that the hysteresis loop of the process with nitrogen is practically not observed, in contrast to the situation with oxygen, but in this case, the environment heats up faster in the oxygen medium, which indicates a higher plasma energy | ||
| 336 | |a Текстовый файл | ||
| 461 | 1 | |0 636133 |t Перспективы развития фундаментальных наук |l Prospects of Fundamental Sciences Development |o сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г. |d 2023 |9 636133 |a Курзина, И. А. (химик ; 1972-) |c Томск |n Изд-во ТПУ | |
| 463 | 1 | |0 669915 |t Т. 1 : Физика |v С. 123-125 |d 2023 |9 669915 |p 1 файл (75,9 MB, 442 с.) |u conference_tpu-2023-C21_V1.pdf |l Volume 1. Physics | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a системы магнетронного распыления | |
| 610 | 1 | |a тонкие плёнки | |
| 610 | 1 | |a скорость осаждения | |
| 610 | 1 | |a процесс напыления | |
| 610 | 1 | |a нитрид титана | |
| 610 | 1 | |a оксид титана | |
| 610 | 1 | |a петля гистерезиса | |
| 700 | 1 | |a Гавриленко |b А. В. | |
| 701 | 1 | |a Конищев |b М. Е. | |
| 702 | 1 | |a Конищев |b М. Е. |c физик |c инженер Томского политехнического университета, аспирант |f 1987- |g Максим Евгеньевич |4 727 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Инженерная школа ядерных технологий |b Отделение экспериментальной физики |9 28346 |
| 801 | 0 | |a RU |b 63413507 |c 20240513 |g RCR | |
| 856 | 4 | |z http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80789 |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80789 | |
| 942 | |c CF | ||