Поиск режимов осаждения оксида иттрия в металлическом режиме работы магнетронной распылительной системы; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика - Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна (2023, 2023)
Заглавие с экрана