Оксинитридные тонкие пленки, осажденные реактивным магнетронным распылением и их применение в биомедицине
| Parent link: | Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП-2023): труды XXVI Международной конференции, 21-25 августа 2023 г. Ярославль, Россия/ Ярославский государственный университет им. П. Г. Демидова.— .— Ярославль, 2023 Т. 2.— 2023.— С. 251-254 |
|---|---|
| Övriga upphovsmän: | , , , , , , , |
| Sammanfattning: | In the paper, we investigate the structure, elemental and phase composition Ti-O-N coatings that were deposited by reactive magnetron sputtering on a stainless steel surface. The film consists of two phases: a nanocrystalline and amorphous structure, the strength of the interfaces increases the resistance to deformation of the coating, and the absence of dislocations inside the crystallites increases their elasticity. At saturation in the plasma on the surface of the films formed oxy-hydrides. Текстовый файл |
| Språk: | ryska |
| Publicerad: |
2023
|
| Serie: | Ионно-индуцированные процессы в тонких пленках и наноструктурах |
| Ämnen: | |
| Länkar: | http://isi2025.yarsu.ru/isi2023/files/proceedings/ISI2023Volume2.pdf#page=251 |
| Materialtyp: | Elektronisk Bokavsnitt |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=671906 |
| Sammanfattning: | In the paper, we investigate the structure, elemental and phase composition Ti-O-N coatings that were deposited by reactive magnetron sputtering on a stainless steel surface. The film consists of two phases: a nanocrystalline and amorphous structure, the strength of the interfaces increases the resistance to deformation of the coating, and the absence of dislocations inside the crystallites increases their elasticity. At saturation in the plasma on the surface of the films formed oxy-hydrides. Текстовый файл |
|---|