Новосибирск 20240214d2023 k||y0rusy50 ca creator Герасимова А. А text monographic Защита сост. 26.12.2023 Пленки тонкие Исследование (твердые тела) 85637 пленки гафний нестехиометрические оксиды цирконий тантал структурные свойства электрофизические свойства ионно-лучевое распыление авторефераты диссертаций 20240606134729.0 670706