Формирование интерметаллидных покрытий при использовании плазмы олова и ниобия методом магнетронного напыления; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Известия вузов. Физика.— , 1958-2017, 2020- Т. 65, № 11.— 2022.— [С. 199-204]
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение экспериментальной физики
Andre forfattere:	Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич, Харисова А. Е. Анастасия Евгеньевна, Селезнева Т. В. Татьяна Вячеславовна, Савельев А. И. Александр Игоревич, Казимиров А. И. Артём Игоревич
Summary:	Заглавие с экрана Исследованы некоторые закономерности формирования покрытий на основе системы ниобий - олово при использовании магнетронного распыления. Покрытия получены как в режиме послойного, так и одновременного напыления от двух источников плазмы. Определен оптимальный режим работы магнетронного источника для обеспечения поверхностной концентрации олова на уровне 19-26 ат.%. Исследованы элементный состав, микроструктура полученных пленок. Проведено исследование структурно-фазового состава после отжига образцов в высоковакуумной печи при температуре 800 °С. Результаты исследований указывают на формирование интерметаллидной фазы станнида триниобия, при этом наилучшие результаты с точки зрения ожидаемых сверхпроводящих свойств получены в режиме одновременного осаждения покрытий. Some regularities in the formation of coatings based on the niobium-tin system using magnetron sputtering have been studied. The coatings were obtained both in the mode of layer-by-layer and simultaneous deposition from two plasma sources. The optimal mode of operation of the magnetron source was determined to ensure the surface concentration of tin at the level of 19-26 at.%. The elemental composition and microstructure of the obtained films were studied. The study of the structural-phase composition after annealing of samples in a high-vacuum furnace at a temperature of 800 °C was carried out. The research results indicate the formation of an intermetallic phase of triniobium stannide, while the best results in terms of the expected superconducting properties were obtained in the mode of simultaneous coating deposition.
Sprog:	russisk
Udgivet:	2022
Fag:	труды учёных ТПУ электронный ресурс магнетронное напыление металлическая плазма сверхпроводящие материалы покрытия отжиг
Online adgang:	https://doi.org/10.17223/00213411/65/11/199 https://www.elibrary.ru/item.asp?id=49813164
Format:	Electronisk Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=669315