Исследование процесса формирования сверхпроводящих покрытий станнида триниобия методом магнетронного напыления для задач ускорительной техники; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11

Bibliographic Details
Parent link:	Известия вузов. Физика.— , 1958-2017, 2020- Т. 65, № 11.— 2022.— [С. 191-198]
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение экспериментальной физики
Other Authors:	Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич, Бордулёв Ю. С. Юрий Сергеевич, Харисова А. Е. Анастасия Евгеньевна, Селезнева Т. В. Татьяна Вячеславовна, Савельев А. И. Александр Игоревич, Казимиров А. И. Артём Игоревич
Summary:	Заглавие с экрана Рассмотрены некоторые закономерности формирования покрытий станнида триниобия при их осаждении методом магнетронного распыления с использованием стехиометрической мишени. Определен оптимальный режим работы магнетронного источника, исследован элементно-фазовый состав, микроструктура формируемых пленок, а также их изменение в процессе высокотемпературного отжига. Результаты исследований указывают на то, что оптимальные с точки зрения элементного и фазового состава покрытия получены в режиме осаждения при давлении аргона в рабочей камере 0.3 Па и температуре высоковакуумного отжига 800 °С. Some regularities in the formation of triniobium stannide coatings during their deposition by magnetron sputtering using a stoichiometric target are considered. The optimal mode of operation of the magnetron source was determined, the elemental-phase composition, the microstructure of the formed films, as well as their change during high-temperature annealing, were studied. The research results indicate that coatings that are optimal in terms of elemental and phase composition were obtained in the deposition mode at an argon pressure in the working chamber of 0.3 Pa and a high-vacuum annealing temperature of 800°C.
Language:	Russian
Published:	2022
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс магнетронное напыление металлическая плазма сверхпроводящие материалы покрытия отжиг
Online Access:	https://doi.org/10.17223/00213411/65/11/191 https://www.elibrary.ru/item.asp?id=49813163
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=669314