Исследование процесса формирования сверхпроводящих покрытий станнида триниобия методом магнетронного напыления для задач ускорительной техники; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11
| Parent link: | Известия вузов. Физика.— , 1958-2017, 2020- Т. 65, № 11.— 2022.— [С. 191-198] |
|---|---|
| Corporate Authors: | , |
| Outros autores: | , , , , , |
| Summary: | Заглавие с экрана Рассмотрены некоторые закономерности формирования покрытий станнида триниобия при их осаждении методом магнетронного распыления с использованием стехиометрической мишени. Определен оптимальный режим работы магнетронного источника, исследован элементно-фазовый состав, микроструктура формируемых пленок, а также их изменение в процессе высокотемпературного отжига. Результаты исследований указывают на то, что оптимальные с точки зрения элементного и фазового состава покрытия получены в режиме осаждения при давлении аргона в рабочей камере 0.3 Па и температуре высоковакуумного отжига 800 °С. Some regularities in the formation of triniobium stannide coatings during their deposition by magnetron sputtering using a stoichiometric target are considered. The optimal mode of operation of the magnetron source was determined, the elemental-phase composition, the microstructure of the formed films, as well as their change during high-temperature annealing, were studied. The research results indicate that coatings that are optimal in terms of elemental and phase composition were obtained in the deposition mode at an argon pressure in the working chamber of 0.3 Pa and a high-vacuum annealing temperature of 800°C. |
| Idioma: | ruso |
| Publicado: |
2022
|
| Subjects: | |
| Acceso en liña: | https://doi.org/10.17223/00213411/65/11/191 https://www.elibrary.ru/item.asp?id=49813163 |
| Formato: | Electrónico Capítulo de libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=669314 |
MARC
| LEADER | 00000nla2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 669314 | ||
| 005 | 20250904125236.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\40554 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\40442 | ||
| 090 | |a 669314 | ||
| 100 | |a 20230322a2022 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a arcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Исследование процесса формирования сверхпроводящих покрытий станнида триниобия методом магнетронного напыления для задач ускорительной техники |d Investigation of the process of formation of superconducting coatings of triniobium stannide by magnetron sputtering for problems of accelerator technology |f Ю. Н. Юрьев, Ю. С. Бордулёв, А. Е. Харисова [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: 25 назв.] | ||
| 330 | |a Рассмотрены некоторые закономерности формирования покрытий станнида триниобия при их осаждении методом магнетронного распыления с использованием стехиометрической мишени. Определен оптимальный режим работы магнетронного источника, исследован элементно-фазовый состав, микроструктура формируемых пленок, а также их изменение в процессе высокотемпературного отжига. Результаты исследований указывают на то, что оптимальные с точки зрения элементного и фазового состава покрытия получены в режиме осаждения при давлении аргона в рабочей камере 0.3 Па и температуре высоковакуумного отжига 800 °С. | ||
| 330 | |a Some regularities in the formation of triniobium stannide coatings during their deposition by magnetron sputtering using a stoichiometric target are considered. The optimal mode of operation of the magnetron source was determined, the elemental-phase composition, the microstructure of the formed films, as well as their change during high-temperature annealing, were studied. The research results indicate that coatings that are optimal in terms of elemental and phase composition were obtained in the deposition mode at an argon pressure in the working chamber of 0.3 Pa and a high-vacuum annealing temperature of 800°C. | ||
| 461 | 0 | |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\191 |t Известия вузов. Физика |d 1958-2017, 2020- | |
| 463 | 0 | |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\291225 |t Т. 65, № 11 |v [С. 191-198] |d 2022 | |
| 510 | 1 | |a Investigation of the process of formation of superconducting coatings of triniobium stannide by magnetron sputtering for problems of accelerator technology |z eng | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a магнетронное напыление | |
| 610 | 1 | |a металлическая плазма | |
| 610 | 1 | |a сверхпроводящие материалы | |
| 610 | 1 | |a покрытия | |
| 610 | 1 | |a отжиг | |
| 701 | 1 | |a Юрьев |b Ю. Н. |c специалист в области водородной энергетики |c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник |f 1984- |g Юрий Николаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30543 |9 14839 | |
| 701 | 1 | |a Бордулёв |b Ю. С. |c физик |c научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1990- |g Юрий Сергеевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\29925 | |
| 701 | 1 | |a Харисова |b А. Е. |c специалист в области ядерных технологий |c инженер Томского политехнического университета |f 1994- |g Анастасия Евгеньевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\46774 | |
| 701 | 1 | |a Селезнева |b Т. В. |c физик |c инженер Томского политехнического университета |f 1998- |g Татьяна Вячеславовна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\47538 | |
| 701 | 1 | |a Савельев |b А. И. |g Александр Игоревич | |
| 701 | 1 | |a Казимиров |b А. И. |g Артём Игоревич | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов |c (2017- ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\23551 |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Инженерная школа ядерных технологий |b Отделение экспериментальной физики |3 (RuTPU)RU\TPU\col\23549 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20230322 |g RCR | |
| 856 | 4 | 0 | |u https://doi.org/10.17223/00213411/65/11/191 |
| 856 | 4 | 0 | |u https://www.elibrary.ru/item.asp?id=49813163 |
| 942 | |c CF | ||