Формирование мощных импульсных пучков ионов титана субмиллисекундной длительности из плазмы вакуумной дуги

Bibliographic Details
Parent link:	Известия вузов. Физика=Russian Physics Journal Т. 65, № 11.— 2022.— [С. 138-144]
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научная лаборатория высокоинтенсивной имплантации ионов
Other Authors:	Рябчиков А. И. Александр Ильич, Дектярев С. В. Сергей Валентинович, Корнева О. С. Ольга Сергеевна, Вахрушев Д. О. Димитрий Олегович
Summary:	Заглавие с экрана Развитие метода улучшения эксплуатационных свойств различных материалов, основанного на синергии высокоинтенсивной имплантации ионов и одновременного энергетического воздействия на поверхность, нацелено на создание глубоких ионно-легированных слоев. Для реализации этого метода необходимы импульсно-периодические пучки ионов металлов и газов субмиллисекундной длительности с высокой плотностью мощности. В работе представлены результаты экспериментальных исследований по формированию импульсных высокоинтенсивных пучков ионов титана из плазмы вакуумной дуги. Исследовано влияние на фокусировку и эффективность транспортировки размеров ячеек сеточного фокусирующего электрода в виде части сферы. Экспериментально показана возможность баллистической фокусировки пучка ионов титана с длительностью импульса в диапазоне от 150 до 500 мкс с достижением плотности мощности до 200 кВт/см2. The development of a method to improve performance properties of various materials, based on the synergy of high-intensity ion implantation and simultaneous energy impact on the surface, is aimed at creating deep ion-doped layers. Repetitively-pulsed high-power density beams of metal and gas ions with submillisecond duration are required to implement this method. This article presents the results of experimental studies on the forming pulsed high-intensity titanium ion beams from vacuum arc plasma. The effect on focusing and transport efficiency of the cell sizes of the grid focusing electrode in the form of a part of a sphere has been studied. The possibility of ballistic focusing of a titanium ion beam with a pulse duration from 150 to 500 µs with a power density of up to 100 kW/cm2 has been experimentally shown. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:	Russian
Published:	2022
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс пучки ионы плазма вакуумная дуга ионная имплантация
Online Access:	https://doi.org/10.17223/00213411/65/11/138 https://www.elibrary.ru/item.asp?id=49813156 Статья на английском языке
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=669202