Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11 - Иванова А. И. Анна Ивановна; Блейхер Г. А. Галина Алексеевна; Вахрушев Д. О. Димитрий Олегович; Корнева О. С. Ольга Сергеевна (2022, 2022)
Заглавие с экрана