Cita APA

Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научная лаборатория высокоинтенсивной имплантации ионов, Иванова А. И. Анна Ивановна, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, Вахрушев Д. О. Димитрий Олегович, & Корнева О. С. Ольга Сергеевна. (2022). Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11. 2022. https://doi.org/10.1007/s11182-023-02843-1

Citación estilo Chicago

Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научная лаборатория высокоинтенсивной имплантации ионов, Иванова А. И. Анна Ивановна, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, Вахрушев Д. О. Димитрий Олегович, and Корнева О. С. Ольга Сергеевна. Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11. 2022, 2022. https://doi.org/10.1007/s11182-023-02843-1.

Cita MLA

Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научная лаборатория высокоинтенсивной имплантации ионов, et al. Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11. 2022, 2022. https://doi.org/10.1007/s11182-023-02843-1.