APA (7th ed.) Citation

Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа новых производственных технологий Научно-производственная лаборатория "Импульсно-пучковых, электроразрядных и плазменных технологий", Konusov F. V. Fedor Valerievich, Pavlov S. K. Sergey Konstantinovich, Lauk A. L. Aleksandr Lukyanovich, Tarbokov V. A. Vladislav Aleksandrovich, . . . Gadirov R. M. Ruslan Mukhamedzhanovich. (2022). Effect of the Content of Silicon on the Optical Properties of Al-Si-N Coatings Irradiated with Carbon Ions in the Short-Pulse Implantation Mode; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 16, iss. 5. 2022. https://doi.org/10.1134/S1027451022050081

Chicago Style (17th ed.) Citation

Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, электроразрядных и плазменных технологий" Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа новых производственных технологий Научно-производственная лаборатория "Импульсно-пучковых, Konusov F. V. Fedor Valerievich, Pavlov S. K. Sergey Konstantinovich, Lauk A. L. Aleksandr Lukyanovich, Tarbokov V. A. Vladislav Aleksandrovich, Remnev G. E. Gennady Efimovich, and Gadirov R. M. Ruslan Mukhamedzhanovich. Effect of the Content of Silicon on the Optical Properties of Al-Si-N Coatings Irradiated with Carbon Ions in the Short-Pulse Implantation Mode; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 16, Iss. 5. 2022, 2022. https://doi.org/10.1134/S1027451022050081.

MLA (9th ed.) Citation

Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, et al. Effect of the Content of Silicon on the Optical Properties of Al-Si-N Coatings Irradiated with Carbon Ions in the Short-Pulse Implantation Mode; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 16, Iss. 5. 2022, 2022. https://doi.org/10.1134/S1027451022050081.