Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа новых производственных технологий Научно-производственная лаборатория "Импульсно-пучковых, электроразрядных и плазменных технологий", Konusov F. V. Fedor Valerievich, Pavlov S. K. Sergey Konstantinovich, Lauk A. L. Aleksandr Lukyanovich, Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich, . . . Remnev G. E. Gennady Efimovich. (2022). Effect of short-pulsed ion irradiation on the optical and electrical properties of titanium nitride films deposited by reactive magnetron sputtering. 2022. https://doi.org/10.1016/j.nimb.2022.06.011
শিকাগো স্টাইল (17 তম সংস্করণ) উদ্ধৃতিНациональный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, et al. Effect of Short-pulsed Ion Irradiation on the Optical and Electrical Properties of Titanium Nitride Films Deposited by Reactive Magnetron Sputtering. 2022, 2022. https://doi.org/10.1016/j.nimb.2022.06.011.
M.L.A (9 ম সংস্করণ) উদ্ধৃতিНациональный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, et al. Effect of Short-pulsed Ion Irradiation on the Optical and Electrical Properties of Titanium Nitride Films Deposited by Reactive Magnetron Sputtering. 2022, 2022. https://doi.org/10.1016/j.nimb.2022.06.011.