Hot target magnetron sputtering enhanced by RF-ICP source: Microstructure and functional properties of CrNx coatings; Vacuum; Vol. 200

Hot target magnetron sputtering enhanced by RF-ICP source: Microstructure and functional properties of CrNx coatings; Vacuum; Vol. 200

Bibliografische gegevens
Parent link:	Vacuum Vol. 200.— 2022.— [111020, 12 p.]
Coauteurs:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа химических и биомедицинских технологий
Andere auteurs:	Grudinin V. A. Vladislav Alekseevich, Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna, Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, Semyonov O. V. Oleg Vladimirovich, Obrosov A. Aleksey, Weifs S. Sabine, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Samenvatting:	Title screen CrNx coatings were deposited at high rates (100–130 nm/min) using hot Cr target magnetron sputtering enhanced by a radio-frequency inductively coupled plasma (RF-ICP) source in an Ar + N2 atmosphere. Besides separation of inert and reactive atmosphere, the RF-ICP source can be an effective tool for ion assistance in case of coating growth and to tailor film parameters. The effects of nitrogen flow rate and substrate bias potential on microstructure and functional properties of the CrNx coatings were investigated. An increase in nitrogen flow rate favored the formation of a looser microstructure of the coatings, while substrate biasing had the opposite effect. The functional properties were strongly dependent on the phase composition of the CrNx coatings. The change in coating microstructure significantly affected hardness, elastic modulus, adhesion, friction coefficients and corrosion resistance. The results indicated that ion assistance can be a key feature for regulating functional properties in the considered type of coating deposition. Cr2N and CrN compound coatings with high hardness (~20 GPa) and low corrosion current density (icorr ~ 3–5·10?9 A/cm2) in a 3.5 wt% NaCl solution were obtained by high-rate deposition. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Taal:	Engels
Gepubliceerd in:	2022
Onderwerpen:	электронный ресурс труды учёных ТПУ CrN coatings hot target magnetron sputtering high-rate deposition RF-ICP покрытия магнетронные напыления высокоскоростное осаждение мишени микроструктуры функциональные свойства
Online toegang:	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2022.111020
Formaat:	Elektronisch Hoofdstuk
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=667757

Gelijkaardige items

Hot target magnetron sputtering enhanced by RF-ICP source for CrNx coatings deposition; Vacuum; Vol. 191
Gepubliceerd in: (2021)

Magnetron Deposition of Cr Coatings with RF-ICP Assistance; Coatings; Vol. 12, iss. 10
Gepubliceerd in: (2022)

Nickel and Chromium Deposition by Hot Target Magnetron Sputtering; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Gepubliceerd in: (2019)

Duplex Treatment of AISI 420 Steel by RF-ICP Nitriding and CrAlN Coating Deposition: The Role of Nitriding Duration; Coatings; Vol. 12, iss. 11
door: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Gepubliceerd in: (2022)

Deposition of Cr films by hot target magnetron sputtering on biased substrates; Surface and Coatings Technology; Vol. 350
Gepubliceerd in: (2018)

Magnetron deposition of copper oxide coatings in a metallic mode enhanced by RF-ICP source: A role of substrate biasing; Vacuum; Vol. 211
door: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Gepubliceerd in: (2023)

Chromium films deposition by hot target high power pulsed magnetron sputtering: Deposition conditions and film properties; Surface and Coatings Technology; Vol. 375
Gepubliceerd in: (2019)

Magnetron sputtering of hot silicon carbide target; Surface and Coatings Technology; Vol. 528
Gepubliceerd in: (2026)

Magnetron deposition of chromium nitride coatings using a hot chromium target: Influence of magnetron power on the deposition rate and elemental composition; Surface and Coatings Technology; Vol. 433
Gepubliceerd in: (2022)

Thin RF magnetron sputter deposited hydroxyapatite-based coating for permanent and biodegradable alloys; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
Gepubliceerd in: (2015)

RF magnetron-sputtered coatings deposited from biphasic calcium phosphate targets for biomedical implant applications; Bioactive Materials; Vol. 2, iss. 3
Gepubliceerd in: (2017)

A comparative study on the properties of chromium coatings deposited by agnetron sputtering with hot and cooled cathode; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
Gepubliceerd in: (2016)

Hydrogen Permeation, and Mechanical and Tribological Behavior, of CrNx Coatings Deposited at Various Bias Voltages on IN718 by Direct Current Reactive Sputtering; Coatings; Vol. 8, iss. 2
Gepubliceerd in: (2018)

High-rate magnetron deposition of CuOx films in the metallic mode enhanced by radiofrequency inductively coupled plasma source; Vacuum; Vol. 207
door: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Gepubliceerd in: (2023)

Metal Coatings Deposition Using Hot Target Magnetrons; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Gepubliceerd in: (2019)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий; Современные проблемы машиностроения
door: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Gepubliceerd in: (2021)

Chromium coatings deposited by cooled and hot target magnetron sputtering for accident tolerant nuclear fuel claddings; Surface and Coatings Technology; Vol. 389
Gepubliceerd in: (2020)

High-temperature oxidation of Cr-coated laser beam welds made from E110 zirconium alloy; Corrosion Science; Vol. 195
Gepubliceerd in: (2022)

Effect of material of the crucible on operation of magnetron sputtering system with liquid-phase target; Vacuum; Vol. 141
Gepubliceerd in: (2017)

Oxidation kinetics of Cr-coated zirconium alloy: Effect of coating thickness and microstructure; Corrosion Science; Vol. 175
Gepubliceerd in: (2020)

Magnetron Deposition of Oxide Films in the Metallic Mode Enhanced by Radio-Frequency Inductively Coupled Plasma Source; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 17, iss. 5
door: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Gepubliceerd in: (2023)

Antibacterial PLGA and PCL membranes, modified by magnetron sputtering method of copper target; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 1093 : Advanced Materials for Engineering and Functional Purposes (AMEFP 2020)
door: Badaraev A. D. Arsalan Dorzhievich
Gepubliceerd in: (2021)

Investigation of the Microstructure and Mechanical Properties of Si-Al-N Transparent Coatings; Key Engineering Materials; Vol. 683 : Multifunctional Materials: Development and Application
Gepubliceerd in: (2016)

Formation and Characterization of Crystalline Hydroxyapatite Coating with the (002) Texture; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 116 : Advanced Materials and New Technologies in Modern Materials Science
Gepubliceerd in: (2016)

Effect of Magnetic Field Configuration of Dual Magnetron on Carbon Based Films Properties; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)
Gepubliceerd in: (2014)

Isotopic Analysis. Fundamentals and Applications Using ICP-MS
Gepubliceerd in: (Weinheim, Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, 2012)

Фазовые превращения в наноструктурных покрытиях на основе Zr-Y-O сформированных методом магнетронного напыления; Перспективы развития фундаментальных наук
door: Бардова А. Е.
Gepubliceerd in: (2015)

Численное и экспериментальное исследование влияния технологических параметров на фазовый и химический состав карбидного покрытия, растущего в импульсной электродуговой плазме; Химическая физика и мезоскопия; Т. 14, № 4
Gepubliceerd in: (2012)

Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 1
door: Князева А. Г. Анна Георгиевна
Gepubliceerd in: (2010)

RF System Design of Transceivers for Wireless Communications
door: Qizheng G. Gu
Gepubliceerd in: (New York, Springer, 2005)

Модифицирование полимеров медицинского назначения методом ВЧ-магнетронного напыления; Перспективы развития фундаментальных наук
door: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Gepubliceerd in: (2013)

Исследование оптических свойств покрытий на основе Si-Al-N, полученных методом магнетронного напыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
door: Першукова А. Г.
Gepubliceerd in: (2016)

Formation of titanium interlayer by vacuum arc deposition to increase the durability of titanium nitride coatings under thermal cycling conditions; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 9, iss. 6
Gepubliceerd in: (2015)

Исследование структурно-фазового состояния и оптических свойств покрытий Al-Si-N; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
door: Божко И. А. Ирина Александровна
Gepubliceerd in: (2015)

Влияние материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на различных подложках в процессе термического отжига; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
door: Лязгин А. О.
Gepubliceerd in: (2010)

Структурно-фазовое состояние наноструктурных многослойных покрытий сформированных методом магнетронного напыления; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
door: Бардова А. Е.
Gepubliceerd in: (2015)

The formation of stable hydrogen impermeable TiN-based coatings on zirconium alloy Zr1%Nb; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials
Gepubliceerd in: (2015)

Wettability of Thin Silicate-Containing Hydroxyapatite Films Formed by RF-Magnetron Sputtering; Russian Physics Journal; Vol. 56, iss. 10
Gepubliceerd in: (2014)

Biocompatible nanostructured coatings based on calcium phosphates prepared by means of rf-magnetron sputtering deposition; The 7th International Forum on Strategic Technology (IFOST-2012), September 18-21, 2012, Tomsk
Gepubliceerd in: (2012)

Микроструктура покрытия на основе алюминидов никеля, полученного методом магнетронного напыления сборных мишеней; Современные технологии и материалы новых поколений
door: Гирш А. В.
Gepubliceerd in: (2017)