APA ציטוט

Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа химических и биомедицинских технологий, Grudinin V. A. Vladislav Alekseevich, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, Semyonov O. V. Oleg Vladimirovich, . . . Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich. (2022). Hot target magnetron sputtering enhanced by RF-ICP source: Microstructure and functional properties of CrNx coatings; Vacuum; Vol. 200. 2022. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2022.111020

Chicago Style (17th ed.) Citation

Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа химических и биомедицинских технологий, Grudinin V. A. Vladislav Alekseevich, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, Semyonov O. V. Oleg Vladimirovich, Obrosov A. Aleksey, Weifs S. Sabine, and Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich. Hot Target Magnetron Sputtering Enhanced by RF-ICP Source: Microstructure and Functional Properties of CrNx Coatings; Vacuum; Vol. 200. 2022, 2022. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2022.111020.

ציטוט MLA

Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий, et al. Hot Target Magnetron Sputtering Enhanced by RF-ICP Source: Microstructure and Functional Properties of CrNx Coatings; Vacuum; Vol. 200. 2022, 2022. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2022.111020.