Determination of the Electron Density and Electron Temperature in A Magnetron Discharge Plasma Using Optical Spectroscopy and the Collisional-Radiative Model of Argon; Russian Physics Journal; Vol. 60, iss. 5

Determination of the Electron Density and Electron Temperature in A Magnetron Discharge Plasma Using Optical Spectroscopy and the Collisional-Radiative Model of Argon; Russian Physics Journal; Vol. 60, iss. 5

Bibliografske podrobnosti
Parent link:	Russian Physics Journal Vol. 60, iss. 5.— 2017.— [P. 765–775]
Korporativna značnica:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов
Drugi avtorji:	Evdokimov K. E. Kirill Evgenievich, Konishchev M. E. Maksim Evgenievich, Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich, Pustovalova A. A., Ivanova N. M. Nina Mikhailovna, Sun Zhilei
Izvleček:	Title screen A method for determining the electron temperature and electron density in a plasma is proposed that is based on minimization of the difference between the experimental relative intensities of the spectral argon (Ar) lines and those same intensities calculated with the aid of the collisional-radiative model. The model describes the kinetics of the ground state and 40 excited states of the Ar atom and takes into account the following processes: excitation and deactivation of the states of the atom by electron impact, radiative decay of the excited states, self-absorption of radiation, ionization of excited states by electron impact, and quenching of metastable states as a consequence of collisions with the chamber walls. Using the given method, we have investigated the plasma of a magnetron discharge on a laboratory setup for intermediate-frequency magnetron sputtering for a few selected operating regimes.
Jezik:	angleščina
Izdano:	2017
Teme:	электронный ресурс труды учёных ТПУ plasma diagnostics optical spectroscopy collisional-radiative model reactive magnetronsputtering диагностика плазма оптическая спектроскопия реактивное распыление магнетронное распыление аргон
Online dostop:	https://doi.org/10.1007/s11182-017-1137-0
Format:	Elektronski Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=666975

Podobne knjige/članki

Determination of magnetron plasma parameters by optical emission spectroscopy and argon collisional-radiative model; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
Izdano: (2016)

Study of argon ions density and electron temperature and density in magnetron plasma by optical emission spectroscopy and collisional-radiative model; Resource-Efficient Technologies; Vol. 3, iss. 2
Izdano: (2017)

Nitrogen-Doped Titanium Dioxide Thin Films Formation on the Surface of PLLA Electrospun Microfibers Scaffold by Reactive Magnetron Sputtering Method; Plasma Chemistry and Plasma Processing; Vol. 39, iss. 2
Izdano: (2019)

Ion emission from the plasma formed in the ferroelectric active source; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment; Vol. 1062
Izdano: (2024)

Study of the discharge on the ferroelectric surface in an argon low pressure; Vacuum; Vol. 239
Izdano: (2025)

The structure of biocoats based on TiO2 doped with nitrogen study; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 347 : New Materials
od: Boytsova E. L. Elena Lvovna
Izdano: (2018)

Comparison Study on the Properties of the CaP Coatings Formed by RF-magnetron Sputtering of the Mg- and Sr-substituted [beta]-tricalcium Phosphate and Hydroxyapatite; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2020 online)
Izdano: (2020)

The influence of plasma parameters on the electron temperature and density; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
Izdano: (2016)

Effect of Intermediate Ion Cleaning of the Titanium Target on the Structure of Bioresorbable PLLA Scaffolds under Coating Deposition by DC Reactive Magnetron Sputtering; Inorganic Materials: Applied Research; Vol. 11, iss. 3
Izdano: (2020)

Improving methods for measuring plasma parameters on PBI; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
Izdano: (2024)

Changes in the Spectral Characteristics of Aluminum Films Deposited under Assisting Argon Ion Beam; Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science; Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014)
Izdano: (2015)

Deposition of the low resistive ITO-films by means of reactive magnetron sputtering of the In/Sn target on the cold substrate; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
Izdano: (2016)

The Reactive Deposition of TiO[x] Thin Films; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)
od: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Izdano: (2014)

Characterzations of nitrogen-doped titanium dioxide films prepared by reactive magnetron sputtering deposition; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
od: Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
Izdano: (2016)

Runaway electron energy determination by angular distribution of Cherenkov radiation; Journal of Instrumentation; Vol. 15 : Radiation from Relativistic Electrons in Periodic Structures (RREPS-19)
Izdano: (2020)

Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 3
Izdano: (2016)

The study of titanium oxynitride coatings solubility deposited by reactive magnetron sputtering; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
od: Leonova L. A. Liliya Aleksandrovna
Izdano: (2016)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
od: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Izdano: (2012)

Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Современные материалы и технологии новых поколений
od: Зелецов Д.
Izdano: (2019)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
od: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Izdano: (2014)

Surface modification of electrospun poly-(l-lactic) acid scaffolds by reactive magnetron sputtering; Colloids and Surfaces B: Biointerfaces; Vol. 162
Izdano: (2018)

Fabrication of NO-containing calcium phosphate coatings via direct introduction of argon-nitrogen-mixtures applied in reactive RF-magnetron sputtering; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1954 : Films and Coatings (ICFC 2021)
Izdano: (2021)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
od: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Izdano: (2009)

Воздействие ускоренных ионов аргона на физическое распыление конструкционных материалов; Материаловедение; № 1
Izdano: (2002)

Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
od: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Izdano: (2016)

Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2013); Т. 1
Izdano: (2013)

Resonance functions in the theory of collisional broadening of molecule spectral lines at low temperatures; Atmospheric and Oceanic Optics; Vol. 30, iss. 4
od: Starikov V. I. Vitaly Ivanovich
Izdano: (2017)

Обнаружение NO в биосовместимых оксинитридных покрытиях титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
od: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Izdano: (2015)

Modification of surface pyrolytic graphite by nitrogen and argon plasma on air; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
Izdano: (2016)

Устройство дугогашения для мощных магнетронных распылительных систем; Современные техника и технологии - СТТ' 2002; Т. 1
od: Арсланов И. Р.
Izdano: (2002)

Физико-механические характеристики гемосовместимых покрытий на основе TiO2 и Ti-O-N, полученных методом реактивного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
od: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Izdano: (2011)

Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 11/3
Izdano: (2013)

The effect of Si content on structure and mechanical features of silicon-containing calcium phosphorus-based films deposited by rf-magnetron sputtering on titanium substrate treated by pulsed electron beam; The 9th International Forum on Strategic Techology (IFOST-2014), September 21-23, 2014, Cox's Bazar, Bangladesh
Izdano: (2014)

Glancing Angle Deposition of Zn-Doped Calcium Phosphate Coatings by RF Magnetron Sputtering; Coatings; Vol. 9, iss. 4
Izdano: (2019)

Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Осипова Е. С.
Izdano: (2023)

Study of argon ions density and electron temperature and density in magnetron plasma by optical emission spectroscopy and collisional-radiative model; Resource-Efficient Technologies; Vol. 3, iss. 2
Izdano: (2017)

Porous CaP Coatings Formed by Combination of Plasma Electrolytic Oxidation and RF-Magnetron Sputtering; Coatings; Vol. 10, iss. 11
Izdano: (2020)

Magnetron-Sputtered YSZ and CGO Electrolytes for SOFC; Journal of Electronic Materials; Vol. 45, iss. 8
Izdano: (2016)

Modification of surface Ti-fiber by air, nitrogen and argon plasma on air; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
Izdano: (2016)

Kinetics of plasma-assisted chemical vapor deposition combined with inductively excited RF discharge and properties of a-C:H:SiOx coatings; Vacuum; Vol. 199
Izdano: (2022)