Радиоактивационный контроль плотности износостойких покрытий AlN и CrN на кремнии

Bibliographic Details
Parent link:	Письма в Журнал технической физики Т. 47, № 10.— 2021.— [С. 26-29]
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа новых производственных технологий Научно-производственная лаборатория "Импульсно-пучковых, электроразрядных и плазменных технологий"
Other Authors:	Рыжков В. А. Владислав Андреевич, Тарбоков В. А. Владислав Александрович, Смолянский Е. А. Егор Александрович, Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Summary:	Заглавие с экрана С помощью комбинации двух методик (неразрушающего радиоактивационного анализа на пучках протонов и оптической микроинтерферометрии) измерены соответственно массовые и линейные толщины покрытий AlN и CrN, осажденных на кремниевые подложки методом магнетронного распыления. Показано, что при линейных толщинах от 2.2 до 5.7 ?m плотность покрытий близка к значениям для объемных материалов AlN (3.26 g/cm3) и CrN (5.9 g/cm3), а стехиометрию нитридов можно контролировать, изменяя параметры магнетронного осаждения. Методика может быть использована также для определения плотности покрытий из карбидов и оксидов металлов, которые применяются в качестве износостойких покрытий. In this work, the mass and linear thicknesses of AlN and CrN coatings deposited onto silicon substrates by magnetron sputtering were measured, respectively, by a combination of the methods of nondestructive radioactivation analysis on proton beams of the U-120M cyclotron and optical micro-interferometry. It is shown that, at linear thicknesses in the range of 2.2-5.7 ?m, the coating density is close to the values for bulk materials AlN (3.26 g / cm3) and CrN (5.9 g / cm3), and the stoichiometry of nitrides is controlled by the parameters of magnetron deposition. The technique can also be used to determine the density of wear-resistant coatings from carbides and metal oxides.
Language:	Russian
Published:	2021
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ плотность радиоактивационный анализ магнетроны
Online Access:	https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.10.50969.18722
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=665621