Радиоактивационный контроль плотности износостойких покрытий AlN и CrN на кремнии; Письма в Журнал технической физики; Т. 47, № 10
| Parent link: | Письма в Журнал технической физики Т. 47, № 10.— 2021.— [С. 26-29] |
|---|---|
| সংস্থা লেখক: | |
| অন্যান্য লেখক: | , , , |
| সংক্ষিপ্ত: | Заглавие с экрана С помощью комбинации двух методик (неразрушающего радиоактивационного анализа на пучках протонов и оптической микроинтерферометрии) измерены соответственно массовые и линейные толщины покрытий AlN и CrN, осажденных на кремниевые подложки методом магнетронного распыления. Показано, что при линейных толщинах от 2.2 до 5.7 ?m плотность покрытий близка к значениям для объемных материалов AlN (3.26 g/cm3) и CrN (5.9 g/cm3), а стехиометрию нитридов можно контролировать, изменяя параметры магнетронного осаждения. Методика может быть использована также для определения плотности покрытий из карбидов и оксидов металлов, которые применяются в качестве износостойких покрытий. In this work, the mass and linear thicknesses of AlN and CrN coatings deposited onto silicon substrates by magnetron sputtering were measured, respectively, by a combination of the methods of nondestructive radioactivation analysis on proton beams of the U-120M cyclotron and optical micro-interferometry. It is shown that, at linear thicknesses in the range of 2.2-5.7 ?m, the coating density is close to the values for bulk materials AlN (3.26 g / cm3) and CrN (5.9 g / cm3), and the stoichiometry of nitrides is controlled by the parameters of magnetron deposition. The technique can also be used to determine the density of wear-resistant coatings from carbides and metal oxides. |
| ভাষা: | রুশ |
| প্রকাশিত: |
2021
|
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.10.50969.18722 |
| বিন্যাস: | বৈদ্যুতিক গ্রন্থের অধ্যায় |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=665621 |