Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, Konusov F. V. Fedor Valerievich, Pavlov S. K. Sergey Konstantinovich, Lauk A. L. Aleksandr Lukyanovich, Kabyshev A. V. Aleksandr Vasiljevich, & Gadirov R. M. Ruslan Mukhamedzhanovich. (2021). Optical Properties of Aluminum- and Silicon-Nitride Films and Al–Si–N Nanocomposite Coatings Deposited by Reactive Magnetron Sputtering. 2021. https://doi.org/10.1134/S1027451021010274
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, Konusov F. V. Fedor Valerievich, Pavlov S. K. Sergey Konstantinovich, Lauk A. L. Aleksandr Lukyanovich, Kabyshev A. V. Aleksandr Vasiljevich, and Gadirov R. M. Ruslan Mukhamedzhanovich. Optical Properties of Aluminum- and Silicon-Nitride Films and Al–Si–N Nanocomposite Coatings Deposited by Reactive Magnetron Sputtering. 2021, 2021. https://doi.org/10.1134/S1027451021010274.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, et al. Optical Properties of Aluminum- and Silicon-Nitride Films and Al–Si–N Nanocomposite Coatings Deposited by Reactive Magnetron Sputtering. 2021, 2021. https://doi.org/10.1134/S1027451021010274.